特許

J-GLOBAL ID：200903027942554975

酸化物焼結体、その製造方法、透明導電膜、およびそれを用いて得られる太陽電池

発明者： 阿部 能之 ,  中山 徳行
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 河備 健二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-233826
公開番号（公開出願番号）：特開2008-110911
出願日： 2007年09月10日
公開日（公表日）： 2008年05月15日
要約：

【課題】酸化亜鉛を主成分とし、さらにアルミニウムとガリウムを含有する酸化物焼結体とその製法、スパッタリング法などで異常放電が全く発生せず、連続で長時間成膜できるターゲット、それを用いた低抵抗で高透過性の高品質な透明導電膜、高変換効率の太陽電池を提供。【解決手段】酸化亜鉛と、アルミニウムとガリウムとを含有し、実質的にウルツ鉱型酸化亜鉛相とスピネル型酸化物相の結晶相から構成されている酸化物焼結体であって、(1)酸化物焼結体中のアルミニウム及びガリウムの含有量が、(Al+Ga)/(Zn+Al+Ga)原子数比で0.3〜6.5原子%、かつ、アルミニウムとガリウムの含有量が、Al/(Al+Ga)原子数比で30〜70原子%であり、(2)スピネル型酸化物相中のアルミニウムの含有量が、Al/(Al+Ga)原子数比で10〜90原子%であることを特徴とする酸化物焼結体などによって提供。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛と、アルミニウムとガリウムとを含有し、実質的にウルツ鉱型酸化亜鉛相とスピネル型酸化物相の結晶相から構成されている酸化物焼結体であって、 (1)酸化物焼結体中のアルミニウム及びガリウムの含有量が、(Al+Ga)/(Zn+Al+Ga)原子数比で0.3〜6.5原子%、かつ、アルミニウムの含有量が、Al/(Al+Ga)原子数比で30〜70原子%であり、 (2)スピネル型酸化物相中のアルミニウムの含有量が、Al/(Al+Ga)原子数比で10〜90原子%であることを特徴とする酸化物焼結体。

IPC (7件)：

C04B 35/453 ,  C04B 35/622 ,  C04B 35/64 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/08 ,  H01L 31/04 ,  H01B 5/14

FI (9件)：

C04B35/00 P ,  C04B35/00 D ,  C04B35/64 A ,  C04B35/64 C ,  C23C14/34 A ,  C23C14/08 C ,  H01L31/04 H ,  H01L31/04 M ,  H01B5/14 A

Fターム (27件)：

4G030AA32 ,  4G030AA34 ,  4G030AA36 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4G030CA01 ,  4G030GA18 ,  4G030GA25 ,  4G030GA28 ,  4K029AA09 ,  4K029BA49 ,  4K029BC09 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  4K029DC34 ,  5F051AA10 ,  5F051CB15 ,  5F051CB27 ,  5F051DA03 ,  5F051FA02 ,  5F051FA06 ,  5F051GA03 ,  5G307FA01 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC09

引用特許：

出願人引用 (7件)

• 特開昭62-122011号公報
  
• 特開平2-149459号公報
  
• スパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-289203   出願人：旭硝子株式会社
• スパッタリングターゲット用ZnO-Ga2O3系焼結体およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-115764   出願人：住友金属鉱山株式会社
• 酸化亜鉛系透明導電膜及びそれを用いた液晶ディスプレイ並びに酸化亜鉛系スパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-105220   出願人：東ソー株式会社
• 透明酸化物及びそれを用いた透明導電性酸化物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-281749   出願人：ホーヤ株式会社
• ZnO系焼結体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-062777   出願人：住友金属鉱山株式会社