特許
J-GLOBAL ID:200903027995860342
配向膜形成装置、配向膜形成方法、描画装置および描画方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-170105
公開番号(公開出願番号):特開2005-351975
出願日: 2004年06月08日
公開日(公表日): 2005年12月22日
要約:
【課題】乾燥後の膜厚の均一度を高めること。【解決手段】ガラス基板30上における所望描画領域よりも小面積の描画領域21に対して、インクジェットヘッドから配向膜インクを吐出させるステップと、描画領域21の周囲である周囲描画領域22に対して、インクジェットヘッドから配向膜インクを吐出させるステップと、周囲描画領域22の周囲である周囲描画領域23に対して、インクジェットヘッドから配向膜インクを吐出させるステップとを含み、周縁部である周囲描画領域23における乾燥後の配向膜インクの隆起を低減する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
基板上に所望描画領域よりも小面積の描画領域に対して、配向膜インクを吐出させる第1のインク吐出手段と、
前記描画領域の周囲に、前記配向膜インクを吐出させる第2のインク吐出手段と、
を備えたことを特徴とする配向膜形成装置。
IPC (4件):
G02F1/1337
, B41J2/01
, G02B5/20
, G02F1/13
FI (4件):
G02F1/1337
, G02B5/20 101
, G02F1/13 101
, B41J3/04 101Z
Fターム (12件):
2C056EA24
, 2C056FB01
, 2H048BA64
, 2H048BB02
, 2H048BB23
, 2H088FA20
, 2H088FA30
, 2H088HA03
, 2H088MA18
, 2H090HC06
, 2H090HC18
, 2H090HD14
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (5件)
全件表示
前のページに戻る