特許
J-GLOBAL ID：200903040511198159

液状物の吐出方法および液状物の吐出装置

発明者：
川瀬 智己

川瀬 智己 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-200408
公開番号（公開出願番号）：特開2004-047578
出願日： 2002年07月09日
公開日（公表日）： 2004年02月12日
要約：
【課題】膜厚分布が小さく、均一な厚さを有する塗膜が得られるとともに、塗布される液状物の無駄を少なくして使用効率を高めた液状物の吐出方法および液状物の吐出装置を提供する。【解決手段】液滴吐出ヘッドのノズルから液状物を吐出して、基板に対して塗布する液状物の吐出方法および液状物の吐出装置において、基板の塗布領域を少なくとも二つに分割した場合に、当該分割したいずれか一つの領域に対する液状物の吐出量を、分割したその他の領域よりも多く制御する。【選択図】 図7
請求項（抜粋）：
液滴吐出ヘッドのノズルから液状物を吐出させ、基板に対して塗布する液状物の吐出方法において、 前記基板の塗布領域を少なくとも二つに分割し、当該分割したいずれか一つの領域に対する液状物の吐出量を、分割したその他の領域よりも多くすることを特徴とする液状物の吐出方法。
IPC (7件)：
H01L21/027 ,  B05C5/00 ,  B05C11/08 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  B05D1/40 ,  G03F7/16
FI (7件)：
H01L21/30 564Z ,  B05C5/00 101 ,  B05C11/08 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 Z ,  B05D1/40 A ,  G03F7/16 501
Fターム (39件)：
2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025EA04 ,  4D075AC06 ,  4D075AC73 ,  4D075AC78 ,  4D075AC79 ,  4D075AC82 ,  4D075AC92 ,  4D075AC93 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC21 ,  4D075DC22 ,  4D075DC24 ,  4D075EA33 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AA06 ,  4F041AB02 ,  4F041BA21 ,  4F041BA24 ,  4F041BA56 ,  4F042AA02 ,  4F042AA07 ,  4F042AA08 ,  4F042BA03 ,  4F042BA08 ,  4F042BA10 ,  4F042BA11 ,  4F042EB09 ,  4F042EB12 ,  4F042EB13 ,  4F042EB17 ,  4F042EB18 ,  4F042EB29 ,  5F046JA01 ,  5F046JA02 ,  5F046JA27
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (6件)
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