特許
J-GLOBAL ID:200903028175996700
波長安定化レーザモジュール
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高橋 詔男 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-067606
公開番号(公開出願番号):特開2001-257419
出願日: 2000年03月10日
公開日(公表日): 2001年09月21日
要約:
【要約】【課題】 波長が高精度に安定化されたレーザ光を出射することができる構造が簡単で小型化が可能な波長安定化レーザモジュールを得る。【解決手段】 半導体レーザ1と、その温度を調節可能な基板7と、半導体レーザ1の出射光を平行光束に変換するレンズ2と、レンズ2を通った平行光束の一部を受光して電気信号に変換する第1光電変換素子5と、前記平行光束の一部を入射するエタロン型フィルタ31と、前記フィルタを透過した光を受光して電気信号に変換する第2光電変換素子6とを有し、第1および第2光電変換素子5,6からの電気信号を演算して得られた波長安定化のための制御信号を半導体レーザ1および/または基板7にフィードバックして前記半導体レーザが安定化の目標とする基準波長のレーザ光を安定して出力できるようにした。
請求項(抜粋):
半導体レーザと、前記半導体レーザの温度を調節する温度調節手段と、前記半導体レーザの出射光を平行光束に変換する手段と、前記平行光束の一部を受光して電気信号に変換する第1光電変換手段と、前記平行光束の一部を入射しその波長に依存して透過率を連続的に変化させるフィルタと、前記フィルタを透過した光を受光して電気信号に変換する第2光電変換手段とを有し、前記第1光電変換手段および第2光電変換手段からの電気信号を演算して得られた波長安定化のための制御信号を前記半導体レーザおよび/または前記温度調節手段にフィードバックして前記半導体レーザが安定化の目標とする基準波長のレーザ光を安定して出力できるようにしたことを特徴とする波長安定化レーザモジュール。
IPC (5件):
H01S 5/0683
, G02B 6/42
, H01S 5/022
, H01S 5/024
, H01S 5/50 630
FI (5件):
H01S 5/0683
, G02B 6/42
, H01S 5/022
, H01S 5/024
, H01S 5/50 630
Fターム (15件):
2H037AA01
, 2H037BA03
, 2H037CA00
, 5F073AB21
, 5F073AB25
, 5F073AB27
, 5F073AB28
, 5F073FA02
, 5F073FA06
, 5F073FA25
, 5F073GA02
, 5F073GA12
, 5F073GA13
, 5F073GA22
, 5F073GA24
引用特許:
審査官引用 (21件)
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波長可変型干渉光フィルタ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-092376
出願人:サンテック株式会社
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外部共振半導体レーザー
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-136823
出願人:有限会社光伸光学
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特開平2-077630
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半導体レーザ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-078688
出願人:株式会社島津製作所
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波長のモニタリング及び波長制御のための光デバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-280401
出願人:富士通株式会社
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半導体レーザの製造方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-162298
出願人:日本電気株式会社
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半導体レーザ装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-258670
出願人:日本電気株式会社
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特開平2-254777
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特開昭58-056539
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特開昭56-055087
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特開昭62-244184
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波長可変型レーザ光源装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-169599
出願人:サンテック株式会社
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レーザ光源装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-187862
出願人:サンテック株式会社
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レーザダイオードモジュール
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-224194
出願人:日本電信電話株式会社
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光モジュール
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-034220
出願人:富士通株式会社
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空間可変フィルタによるレーザ波長の監視/制御方法および装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-522689
出願人:コーニング・レーザートロン・インコーポレーテッド
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特開平2-077630
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特開平2-254777
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特開昭58-056539
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特開昭56-055087
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特開昭62-244184
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