NDフィルタおよびその製造方法、それらを用いた光量絞り装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長尾達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-021927
公開番号（公開出願番号）：特開2007-206136
出願日： 2006年01月31日
公開日（公表日）： 2007年08月16日
要約：

【課題】クラックやシワの発生を抑制することが可能となるNDフィルタおよびその製造方法、それらを用いた光量絞り装置を提供する。【解決手段】透過光量を調節するNDフィルタをつぎのように構成する。すなわち、基体上に積層膜を備え、該積層膜がAl2O3による誘電体膜とTiXOY金属酸化膜と1層以上のTiによる金属膜とを含む光学多層膜で形成された構成とする。その際前記Tiによって形成される金属膜の膜厚を10nm以上とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

透過光量を調節するNDフィルタであって、基体上に積層膜を備え、該積層膜が誘電体膜と金属酸化膜と1層以上の金属膜とを含む光学多層膜で構成されていることを特徴とするNDフィルタ。

IPC (2件)：

G02B 5/00 , G03B 9/02

FI (2件)：

G02B5/00 A , G03B9/02 Z

Fターム (4件)：

2H042AA13 , 2H042AA22 , 2H080AA18 , 2H080AA31

引用特許：

出願人引用 (6件)

光吸収膜
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-333521 出願人：オリンパス光学工業株式会社
薄膜型NDフィルター及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-234098 出願人：キヤノン株式会社
薄膜型NDフィルタおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-153731 出願人：ソニー株式会社

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審査官引用 (4件)

光吸収フィルタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-075757 出願人：アルプス電気株式会社
NDフィルタ及び光量絞り装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-145541 出願人：日本電産コパル株式会社
特開昭56-055910

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