特許
J-GLOBAL ID：200903028275440547
プラズマ質量スペクトロメータ
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大橋 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-159226
公開番号（公開出願番号）：特開平10-188879
出願日： 1997年06月02日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 イオン妨害を削減し、高い質量分解能、透過効率、伝達効率を得る。【解決手段】 プラズマ質量スペクトロメータは、プラズマ2内へ導入した試料からイオンを発生させるプラズマ・トーチ1と、イオンを第1真空室11へ透過又は伝達させるノズル-スキマー・インターフェース3,5と、イオン・ガイド手段12と、第1真空室を第2真空室から分割する穿孔されたダイアフラム18と、第2真空室内のイオン質量-対-電荷比分析器とを備える。イオン・ガイド手段は、多重極ロッド-セット13,14,15と、ロッド間にAC電圧を印加する手段と、不活性ガスをイオン・ガイド手段へ導入する手段22であり、ロッド-セット内の不活性ガスの分圧が少なくとも10-3トルとなるように為す手段22と、を備える。スペクトル中におけるAr+等による妨害ピークは、以上の構成によって低減される。
請求項（抜粋）：
質量スペクトロメータであって、1)プラズマ中に導入された試料からイオンを発生させる手段と、2)前記プラズマから第1真空室へ少なくとも一部のイオンを第1軸線に沿って透過又は伝達させるノズル-スキマー・インターフェース手段と、3)孔を有して、前記第1真空室を第2真空室から分割するダイアフラム手段と、4)前記第1真空室内に配置されて、前記ノズル-スキマー・インターフェース手段から前記孔へイオンをガイドするイオン・ガイド手段と、5)入口軸線を有して、前記孔を通過するイオンを受取ってその質量スペクトルを提供するイオン質量-対-電荷比分析手段と、を備え、前記イオン・ガイド手段が、1)1つ或いはそれ以上の多重極ロッド-セットであり、該セット或いは該セットの各々が、第2軸線回りに相互に僅かな距離を隔てて横方向に離間された複数の長尺状電極ロッドを備えて、それらロッドの間に当該セットを長手方向に貫通して延在する長尺状スペースを画成する1つ或いはそれ以上の多重極ロッド-セットと、2)前記セット或いは該セットの各々に含まれる複数のロッド間にAC電圧を印加する手段であり、当該セットに入るイオンが前記ロッド-セットを貫通する前記長尺状スペース内を移動するように為す手段と、3)ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトン、キセノン、並びに窒素から成る群から選択された不活性ガスを、前記イオン・ガイド手段内へ導入する手段であり、前記ロッド-セット内部における前記長尺状スペースの少なくとも一部における前記不活性ガスの分圧が少なくとも10-3トルとなるように為す手段と、を備えることを特徴とする、質量スペクトロメータ。
IPC (5件)：
H01J 49/06
, H01J 49/30
, H01J 49/40
, H01J 49/42
, G01N 27/62
H01J 49/06
, H01J 49/30
, H01J 49/40
, H01J 49/42
, G01N 27/62 L
