特許
J-GLOBAL ID：200903028291203458

半導体製造装置および半導体製造方法

発明者：
毛利 孝志

毛利 孝志 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-351345
公開番号（公開出願番号）：特開2002-217098
出願日： 1994年12月09日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
要約：
【要約】【課題】 半導体製造装置におけるロットの切り替えを迅速、かつ正確にでき、また緊急なロットが発生しても割り込み処理を行なうことができるようにする。【解決手段】 複数のジョブの実行順序を予約するためのキューテーブルを有し、前記キューテーブルに予約されたジョブによるロット処理が終了する都度、前記キューテーブルに予約された次のジョブによるロット処理が開始される前に前記次のジョブによるロット処理を中止するか否かを判定し、中止と判定された際には前記次のジョブによるロット処理を中止することを特徴とする半導体製造装置。
請求項（抜粋）：
複数のジョブの実行順序を予約するためのキューテーブルを有し、前記キューテーブルに予約されたジョブによるロット処理が終了する都度、前記キューテーブルに予約された次のジョブによるロット処理が開始される前に前記次のジョブによるロット処理を中止するか否かを判定し、中止と判定された際には前記次のジョブによるロット処理を中止することを特徴とする半導体製造装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02
FI (3件)：
G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/30 502 G
Fターム (4件)：
5F046AA28 ,  5F046DA04 ,  5F046DA30 ,  5F046DD06
引用特許：
審査官引用 (18件)
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