特許
J-GLOBAL ID：200903028548614861

基板搬送用ハンドおよび基板搬送方法ならびにこれらを用いたカラーフィルター製造装置および製造方法

発明者：
箕浦 潔

箕浦 潔 について

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北村 義之

北村 義之 について

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田中 聡

田中 聡 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-086857
公開番号（公開出願番号）：特開2002-289664
出願日： 2001年03月26日
公開日（公表日）： 2002年10月04日
要約：
【要約】【課題】低粘度の塗液を表面に塗布した大型基板を、塗布直後に搬送しても乾燥むらや膜厚むらを発生させずに、良好な塗膜面を得る基板搬送用ハンドおよび基板搬送方法、ならびにこれらを用いたカラーフィルター製造装置および製造方法を提供する。【解決手段】自動搬送装置に取り付けられて、板状基板を把持して搬送する基板搬送用ハンドにおいて、基板面内を支持する面内支持部材と、該面内支持部材を介して基板表面から10mm以上離間して設けられた面内支持用アームを有することを特徴とする基板搬送用ハンド。
請求項（抜粋）：
自動搬送装置に取り付けられて、板状基板を把持して搬送する基板搬送用ハンドにおいて、基板面内を支持する面内支持部材と、該面内支持部材を介して基板表面から10mm以上離間して設けられた面内支持用アームを有することを特徴とする基板搬送用ハンド。
IPC (7件)：
H01L 21/68 ,  B05C 13/02 ,  B05D 3/00 ,  B25J 15/08 ,  B65G 49/06 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/027
FI (7件)：
H01L 21/68 A ,  B05C 13/02 ,  B05D 3/00 C ,  B25J 15/08 Z ,  B65G 49/06 Z ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/30 502 J
Fターム (46件)：
2H090HC08 ,  2H090HC10 ,  2H090HC15 ,  2H090HC17 ,  2H090HC18 ,  2H090JB02 ,  2H090JB05 ,  2H090JC07 ,  2H090JC18 ,  2H090LA15 ,  3C007AS01 ,  3C007DS01 ,  3C007ES17 ,  3C007EV01 ,  3C007EV23 ,  3C007NS09 ,  3C007NS21 ,  4D075AC73 ,  4D075AC79 ,  4D075AC96 ,  4D075BB24Z ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA14 ,  4D075EA45 ,  4D075EB22 ,  4D075EB33 ,  4D075EB39 ,  4F042AA02 ,  4F042AA10 ,  4F042DF07 ,  4F042DF25 ,  4F042DF29 ,  4F042DF32 ,  4F042DF34 ,  5F031CA05 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031GA06 ,  5F031GA43 ,  5F031MA26 ,  5F046JA22 ,  5F046JA27
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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