特許

J-GLOBAL ID：200903028894170694

視野絞り投影光学系及び投影露光装置

発明者： 小松田 秀基
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-006344
公開番号（公開出願番号）：特開2000-208396
出願日： 1999年01月13日
公開日（公表日）： 2000年07月28日
要約：

【要約】【課題】視野絞りの像をマスク上に投影する視野絞り投影光学系に特に着目し、レンズ枚数が少ない視野絞り投影光学系を提供する。【解決手段】 光源1からの光に基づいて投影原版M上のパターンを感光基板上の感光面13に転写する露光装置に用いられ、光源1と投影原版Mとの間に配置される視野絞りBの像を投影原版M上ヘ投影する視野絞り投影光学系10であって、1枚の凹面鏡MCと1つ以上の屈折光学部材LPとを有する。

請求項（抜粋）：

光源からの光に基づいて投影原版上のパターンを感光基板上の感光面に転写する露光装置に用いられ、前記光源と前記投影原版との間に配置される視野絞りの像を前記投影原版上ヘ投影する視野絞り投影光学系であって、1枚の凹面鏡と1つ以上の屈折光学部材とを有することを特徴とする視野絞り投影光学系。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 17/08 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 515 D ,  G02B 17/08 A ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521

Fターム (24件)：

2H052BA02 ,  2H052BA03 ,  2H052BA12 ,  2H087KA21 ,  2H087LA24 ,  2H087NA02 ,  2H087NA04 ,  2H087TA03 ,  5F046AA05 ,  5F046AA07 ,  5F046BA03 ,  5F046CA03 ,  5F046CA08 ,  5F046CB03 ,  5F046CB05 ,  5F046CB10 ,  5F046CB13 ,  5F046CB23 ,  9A001BB05 ,  9A001BB06 ,  9A001GG01 ,  9A001JJ46 ,  9A001KK16 ,  9A001KK54

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 照明光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-134916   出願人：株式会社ニコン
• 照明光学装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-019098   出願人：株式会社ニコン
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-345160   出願人：日本電気株式会社
• プリズム保持装置及び投影露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-318655   出願人：株式会社ニコン
• 露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-136779   出願人：株式会社ニコン