特許
J-GLOBAL ID：200903029096819327

欠陥検出方法および装置

発明者：
▲葛▼ 宗濤

▲葛▼ 宗濤 について


出願人/特許権者：
フジノン株式会社

フジノン株式会社 について


代理人 (2件)： 川野 宏 ,  緒方 保人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-089286
公開番号（公開出願番号）：特開2008-249413
出願日： 2007年03月29日
公開日（公表日）： 2008年10月16日
要約：
【課題】被検体画像データに重畳されたノイズを欠陥として誤検出することなく、被検体に存在する本来の欠陥のみを、高精度に検出する。【解決手段】被検体ステージ101と、被検体ステージ101上の被検体に光を照射する照明光学部102と、被検体からの反射光を撮像する撮像カメラ103と、撮像された画像データを格納するフレームメモリ110と、画像データに画像処理を施すコンピュータ111を備えている。コンピュータ111は、被検体画像データに対し、輪郭強調処理を施して第1画像処理データを得るとともにローパスフィルタ処理を施して第2画像処理データを得る画像処理データ取得部と、第1画像処理データと第2画像処理データの差分画像データを得る差分画像データ算出部と、差分画像データにハイパスフィルタ処理を施すハイパスフィルタ処理部と、動的しきい値比較部と、欠陥有無判定部とを備えている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被検体を撮像して得た原画像データに所定の画像処理を施して既処理画像データを得、該既処理画像データの各画像領域についての輝度レベルを判定し、その判定結果に基づき該被検体の欠陥を検出する方法であって、 前記所定の画像処理は、まず、前記原画像データに輪郭強調処理を施して第1の画像処理データを得るとともに、該原画像データにローパスフィルタ処理を施して第2の画像処理データを得、 次に、前記第1の画像処理データと前記第2の画像処理データとの間で、対応する画像領域毎に差分処理を行って差分画像データを得、 この後、前記差分画像データにハイパスフィルタ処理を施して、前記既処理画像データを得ることを特徴とする欠陥検出方法。
IPC (3件)：
G01N 21/896 ,  G01B 11/30 ,  G06T 1/00
FI (3件)：
G01N21/896 ,  G01B11/30 A ,  G06T1/00 300
Fターム (40件)：
2F065AA49 ,  2F065AA61 ,  2F065BB01 ,  2F065BB27 ,  2F065FF04 ,  2F065HH15 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ32 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA14 ,  2G051EC05 ,  2G051ED04 ,  2G051FA04 ,  5B057AA01 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CE02 ,  5B057CE03 ,  5B057CE05 ,  5B057CE06 ,  5B057DA06 ,  5B057DC16 ,  5B057DC32
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (12件)
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