特許
J-GLOBAL ID：200903029250018480
燐酸溶液中の珪素濃度測定装置及び測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
近藤 利英子
, 吉田 勝広
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-136134
公開番号（公開出願番号）：特開2006-352097
出願日： 2006年05月16日
公開日（公表日）： 2006年12月28日
要約：
【課題】エッチング処理で循環使用している高温高濃度の燐酸溶液中の珪素濃度を前処理することなく、連続的に、簡易に且つ安価に測定し、エッチング装置を常に良好な処理が行える状態に管理可能とする測定装置及び測定方法の提供。【解決手段】半導体基板処理装置の稼働中にエッチング液として使用されている燐酸溶液中の珪素濃度を測定するための装置であって、少なくとも反応槽と濃度測定槽とを有してなり、上記反応槽は、前記半導体基板処理装置から抜き出された一定量の燐酸溶液に弗化水素酸を加えることで弗化珪素化合物を生じさせ、更に該弗化珪素化合物を蒸発させる反応ユニットを有し、且つ、上記濃度測定槽は、反応槽からの蒸発した弗化珪素化合物を脱イオン水に通気させて加水分解する加水分解ユニットと、通気した後の脱イオン水中の珪素濃度の変率を測定する測定ユニットとを有する燐酸溶液中の珪素濃度測定装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体基板処理装置の稼働中にエッチング液として使用されている燐酸溶液中の珪素濃度を測定するための装置であって、少なくとも反応槽と濃度測定槽とを有してなり、上記反応槽は、前記半導体基板処理装置から抜き出された一定量の燐酸溶液に弗化水素酸を加えることで弗化珪素化合物を生じさせ、更に該弗化珪素化合物を蒸発させる反応ユニットを有し、且つ、上記濃度測定槽は、反応槽からの蒸発した弗化珪素化合物を脱イオン水に通気させて加水分解する加水分解ユニットと、通気した後の脱イオン水中の珪素濃度の変率を測定する測定ユニットとを有することを特徴とする燐酸溶液中の珪素濃度測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/306 J
, G01N27/06 A
2G060AA06
, 2G060AC02
, 2G060AE17
, 2G060AF08
, 2G060FA01
, 2G060FB02
, 2G060HB06
, 2G060HC02
, 2G060HC10
, 2G060HC18
, 2G060HD01
, 2G060HD03
, 2G060KA06
, 5F043EE10
, 5F043EE21
, 5F043EE23
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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