酸化アルミニウムのための液体前駆体およびその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：山本秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-073197
公開番号（公開出願番号）：特開2001-316112
出願日： 2001年03月14日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
要約：

【要約】【課題】商業的な製造環境に向いた、欠陥のない良好な電子特性を備えた均一な薄膜および厚膜を提供する酸化アルミニウム形成方法を提供すること。【解決手段】酸化アルミニウムを生成するための非水性有機前駆体であって、前駆体は、有機溶媒に溶解したアルミニウム有機前駆体化合物の溶液を含む、非水性有機前駆体。

請求項（抜粋）：

酸化アルミニウムを生成するための非水性有機前駆体であって、該前駆体は、有機溶媒に溶解したアルミニウム有機前駆体化合物の溶液を含む、非水性有機前駆体。

IPC (2件)：

C01F 7/02 , H01L 21/768

FI (2件)：

C01F 7/02 Z , H01L 21/90 L

引用特許：

審査官引用 (18件)

特開平4-357111
特開昭63-182204
特開平2-166284

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