特許
J-GLOBAL ID:200903029279509742

縦型ホール素子およびその磁気検出感度調整方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-209123
公開番号(公開出願番号):特開2007-027515
出願日: 2005年07月19日
公開日(公表日): 2007年02月01日
要約:
【課題】磁気検出素子としての感度調整をより容易且つ的確に行うことのできる構造をもって、当該ホール素子に係る回路の簡素化を図ることのできる縦型ホール素子およびその磁気検出感度調整方法を提供する。【解決手段】磁気検出部(ホールプレート)HPを電気的に区画する分離壁(P型の拡散層14aおよび14b)とは別に、基板内に当該ホール素子の一部として、P型の拡散層からなる電極ED1およびED2を設ける。そして、P型の電極ED1およびED2とN型の半導体領域12との間に形成される空乏層の幅変化を通じて、これら電極ED1およびED2の電位に応じて磁気検出部HPの形状を可変とする。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
半導体基板内の磁気検出部に対し同基板の表面に垂直な成分を含む電流が供給された状態でこの電流に対し前記基板の表面に平行な磁界成分が印加されるときに該印加される磁界成分に応じたホール電圧信号を出力する縦型ホール素子において、 前記半導体基板内に当該ホール素子の一部として一乃至複数の電極が設けられるとともに、該電極と前記基板との間に形成される空乏層の幅変化を通じて、前記電極の電位に応じて前記磁気検出部の形状が可変とされてなる ことを特徴とする縦型ホール素子。
IPC (2件):
H01L 43/06 ,  G01R 33/07
FI (4件):
H01L43/06 Z ,  H01L43/06 A ,  H01L43/06 D ,  G01R33/06 H
Fターム (3件):
2G017AB07 ,  2G017AD53 ,  2G017AD61
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 特開平1-251763号公報
審査官引用 (6件)
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引用文献:
審査官引用 (1件)

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