フッ化カルシウムの製造方法とその利用

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：岡田英彦 , 福田鉄男 , 犬飼達彦 , 中村敦子 , 石岡隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-096105
公開番号（公開出願番号）：特開2004-299982
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】そのままフッ化水素ガス製造原料に使用可能な、純度の高く、粒度分布の安定したCaF2粉末を得ることができるフッ素含有排液からフッ化カルシウムの製造方法を提供する。【解決手段】フッ素含有排液の処理方法において、フッ素含有排液にカルシウム化合物を添加して得られる反応液のpHを10を超え12.5以下に維持し、所定濃度にフッ素成分を残存させるように反応させる第1の反応工程と、同様にフッ素成分を濃度管理し、引き続く第2の反応工程によって得られるCaF2のスラリーを脱水、乾燥、粉砕処理を実施することにより、高純度のCaF2を所定範囲の含有不純物、含水率及び粒度分布に抑えることができ、そのままフッ化水素ガスの製造原料に使用可能とする。フッ化水素ガスから得られるフッ化水素酸を前記、排液発生源の半導体製造工程等の洗浄用としての再利用を可能とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

フッ化カルシウムの製造方法であって、少なくとも、以下の反応工程: フッ素含有排液にカルシウム化合物を添加して得られる反応液のpHを10を超え12.5以下に維持し、所定濃度にフッ素成分を残存させるように反応させる第1の反応工程と、第1の反応工程によって得られる反応液中の少なくとも残存フッ素成分にカルシウム化合物を添加して得られる反応液のpHを10を超え12.5以下に維持し、前記第1の反応工程より低い所定濃度にフッ素成分を残存させるように反応させる第2の反応工程と、最終反応工程の反応液を中和する工程と、反応液からフッ化カルシウムを分離する工程、とを備える、方法。

IPC (7件)：

C01F11/22 , B02C19/00 , B02C23/02 , C01B7/19 , C02F1/58 , H01L21/304 , H01L21/306

FI (7件)：

C01F11/22 , B02C19/00 Z , B02C23/02 , C01B7/19 A , C02F1/58 M , H01L21/304 647Z , H01L21/306 Z

Fターム (25件)：

4D038AA08 , 4D038AB41 , 4D038BA06 , 4D038BB13 , 4D038BB17 , 4D038BB20 , 4D067CG06 , 4D067EE07 , 4D067GA20 , 4G076AA05 , 4G076AA10 , 4G076AB06 , 4G076AB18 , 4G076AB27 , 4G076BA24 , 4G076BA25 , 4G076BA27 , 4G076BA43 , 4G076BA46 , 4G076BD01 , 4G076BD06 , 4G076BH01 , 4G076CA02 , 4G076CA15 , 5F043EE33

引用特許：

審査官引用 (9件)

フッ素を含む副生混合塩からフッ化カルシウムを回収する方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-168645 出願人：ステラケミファ株式会社
特開昭49-064252
特開昭50-067793

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