特許
J-GLOBAL ID：200903029697752327

基板検査装置

発明者：
木内 智一

木内 智一 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (7件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士 ,  加藤 清志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-283776
公開番号（公開出願番号）：特開2007-093411
出願日： 2005年09月29日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：
【課題】 揺動機構に回動可能に保持された被検査基板を落射照明によって外観検査することが可能であるとともに、効果的に背面透過照明による外観検査を行うことが可能な基板検査装置を提供する。【解決手段】 基板検査装置1は、被検査基板Wを保持し回動する揺動機構3と、被検査基板Wの正面W1とは反対側の背面W2を照射するバックライト5と、バックライト5の移動手段6とを備える。移動手段6である回転アーム17は、2本のリンクレバー19、20と、固定部材である固定板21とで構成されている。2本のリンクレバー19、20は、各々一端19a、20aにおいて、所定の間隔を設けて別々に支持部材16に回転可能に軸支されている。また、他端19b、20bにおいて、所定の間隔を設けて別々に固定板21に回転可能に軸支されている。バックライト5は固定板21に固定されている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
被検査基板を保持し、検査時は前記被検査基板を検査位置まで移動させ、非検査時には退避位置まで移動させることが可能である揺動機構と、前記被検査基板の観察する正面側とは反対の背面側に位置し、前記被検査基板を照射するバックライトとを備え、該バックライトの背面透過照明によって前記被検査基板の外観検査を行うことが可能な基板検査装置であって、 前記バックライトを移動可能な移動手段を備え、該移動手段は、背面透過照明による観察時においては、前記揺動機構によって所定の角度に設定された前記被検査基板の背面側に前記バックライトを接近させるとともに、正面側からの落射照明による観察時及び前記揺動機構の回動時においては、前記揺動機構の回動範囲外に前記バックライトを移動させることを特徴とする基板検査装置。
IPC (1件)：
G01N 21/958
FI (1件)：
G01N21/958
Fターム (11件)：
2G051AA84 ,  2G051AB02 ,  2G051BA01 ,  2G051BB09 ,  2G051BC04 ,  2G051CA11 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051CB03 ,  2G051DA03 ,  2G051DA08
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 基板外観検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-238754   出願人：東芝電子エンジニアリング株式会社, 株式会社東芝
  • 基板検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-255163   出願人：オリンパス光学工業株式会社
審査官引用 (5件)
  • 基板検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-079757   出願人：オリンパス株式会社
  • 目視検査台
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-364772   出願人：住友化学工業株式会社
  • 照明装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-062141   出願人：三菱電機株式会社
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