基板検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：鈴江武彦 , 河野哲 , 村松貞男 , 風間鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-079757
公開番号（公開出願番号）：特開2004-286621
出願日： 2003年03月24日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】大型のガラス基板を保持するホルダを前後方向に揺動したり回転させてガラス基板に対する照明光の入射角度を変更可能とし。更にホルダを反転してガラス基板の裏面検査も可能とする。【解決手段】装置本体1に設けられた矢印d2方向に回転可能な揺動軸9に対して支持部8を固定し、この支持部8に対してベース9を回転軸9aを中心に矢印d3方向に回転可能に設け、さらにベース9上にホルダ枠11をスライド可能に設けた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板の表面又は裏面に照明光を照射して前記基板上の欠陥部を検査する基板検査装置において、装置本体の下方の正面に対して水平方向に設けられる第1の回転軸を中心に正面側に対して起上り方向とその反対の傾倒方向に回転可能な支持アームと、前記支持アームの先端に設けられる第2の回転軸を中心にして揺動可能及び反転可能で、かつ前記第2の軸に対して垂直方向に設けられた第3の回転軸を中心に回転可能なベースと、前記基板を保持して前記ベースに対してスライド可能に設けられたホルダ枠と、を具備することを特徴とする基板検査装置。

IPC (4件)：

G01N21/84 , G01N21/958 , G02F1/13 , G02F1/1333

FI (4件)：

G01N21/84 C , G01N21/958 , G02F1/13 101 , G02F1/1333 500

Fターム (13件)：

2G051AA73 , 2G051AB07 , 2G051CA11 , 2G051CB01 , 2G051CB02 , 2G051DA07 , 2G051DA08 , 2H088FA11 , 2H088FA17 , 2H088HA01 , 2H090HC18 , 2H090HC20 , 2H090JB02

引用特許：

審査官引用 (4件)

マクロ検査用ホルダ機構
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-325856 出願人：オリンパス光学工業株式会社
基板外観検査システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-051437 出願人：花王株式会社
板状物体検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-195612 出願人：株式会社日立国際電気

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