特許
J-GLOBAL ID：200903029697865202
真空蒸着方法及びELディスプレイ用パネル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-364484
公開番号（公開出願番号）：特開2006-172930
出願日： 2004年12月16日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：
【課題】 ELパネルを構成する透明基板とマスク板とをアライメントするときに、透明基板の撓みによって透明基板とマスク板とを接触することを防止し、高精度にアライメントを行う。【解決手段】 透明基板1とマスク板2とのアライメントは、夫々の角隅部に形成されたアライメントマーク1M及び2Mをカメラ5により観察して行われるが、カメラ5の被写界深度内で行うために、両アライメントマークはできる限り近接させた状態でアライメントを行う。このとき、透明基板1の中央部分に撓みが生じて透明基板1とマスク板2とを接触させないために、予め透明基板1を反自重方向に向けて僅かに凸形状に湾曲させた状態で、透明基板1とマスク板2とを近接させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
真空蒸着により透明基板の表面に所定のパターンとなるように蒸着膜を形成する真空蒸着方法であって、
前記透明基板の前記蒸着膜が蒸着される被処理面を下側に向けて配置し、この被処理面と対向する側に前記所定パターンを有する磁性金属材の薄板からなるマスク板を配置して、前記透明基板の夫々の角隅部に複数箇所形成されているアライメントマークを基準として、前記マスク板と前記透明基板とをアライメントするために、
前記透明基板を、その中央部分が最も前記マスク板から離間されるように、反自重方向に向けて僅かに凸形状に湾曲させた状態で、前記マスク板と前記透明基板とを近接させて、前記マスク板に形成されている前記アライメントマークと、このアライメントマークに対応する前記透明基板の前記アライメントマークとを同一のカメラ視野内で観察してアライメントすることを特徴とする真空蒸着方法。
IPC (3件)：
H05B 33/10
, C23C 14/24
, H01L 51/50
H05B33/10
, C23C14/24 G
, H05B33/14 A
3K007AB18
, 3K007DB03
, 3K007FA01
, 4K029BA62
, 4K029BD00
, 4K029CA01
, 4K029HA02
, 4K029HA04
出願人引用 (1件)
審査官引用 (7件)
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