特許
J-GLOBAL ID:200903029739330800

近接場分光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 祐司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-301989
公開番号(公開出願番号):特開2003-106977
出願日: 2001年09月28日
公開日(公表日): 2003年04月09日
要約:
【要約】【課題】 本発明は、効率的に真のスペクトル情報を得ることのできる近接場分光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 試料24の近接場スペクトル情報を得る際は該試料24とプローブ12先端を近接場25領域内の所定距離に近接させ、バックグラウンドスペクトル情報を得る際は近接場領25域外の所定距離に離隔させるZ軸走査手段18,20と、近接場スペクトル情報よりバックグラウンドスペクトル情報を差し引き、該バックグラウンドが除去された真の近接場スペクトル情報を得る演算手段46と、を備え、該バックグラウンド情報取得手段は試料24とプローブ12先端を近接場領域25外の所定距離に離隔中に、対応する測定部位のバックグラウンドスペクトル情報を得ることを特徴とする近接場分光装置10。
請求項(抜粋):
試料とプローブ先端を近接場領域内に近接させることにより散乱する近接場光を採取し、採取された散乱光を分光し、試料の近接場スペクトル情報を得る近接場情報取得手段と、前記試料とプローブ先端を近接場領域外の所定距離に離隔させた状態のバックグラウンドスペクトル情報を得るバックグラウンド情報取得手段と、前記試料とプローブ先端を離隔ないし近接させるZ軸方向に走査し、前記近接場情報取得手段により近接場スペクトル情報を得る際は、前記試料とプローブ先端を近接場領域内の所定距離に近接させ、前記バックグラウンド情報取得手段によりバックグラウンドスペクトル情報を得る際は、前記試料とプローブ先端を近接場領域外の所定距離に離隔させるZ軸走査手段と、前記近接場情報取得手段で得た近接場スペクトル情報より、前記バックグラウンド情報取得手段で得たバックグラウンドスペクトル情報を差し引き、該バックグラウンドが除去された真の近接場スペクトル情報を得る演算手段と、を備え、前記バックグラウンド情報取得手段は、前記Z軸走査手段により試料とプローブ先端をZ軸方向に離隔し近接場領域外の所定距離に離隔中に、対応する測定部位のバックグラウンドスペクトル情報を得ることを特徴とする近接場分光装置。
IPC (2件):
G01N 13/14 ,  G02B 21/00
FI (2件):
G01N 13/14 A ,  G02B 21/00
Fターム (7件):
2H052AA00 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC34 ,  2H052AD20 ,  2H052AF07 ,  2H052AF25
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 走査型光顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平9-068607   出願人:オリンパス光学工業株式会社
  • 近接場光学用プローブ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平11-154029   出願人:日本分光株式会社, 科学技術振興事業団, 財団法人神奈川科学技術アカデミー
  • 光ファイバープローブ及びそれを用いた近接場光学顕微鏡
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平8-313920   出願人:財団法人神奈川科学技術アカデミー
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引用文献:
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