特許
J-GLOBAL ID：200903029945708011

搬送装置

発明者：
谷山 博己

谷山 博己 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 萩原 康司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-082684
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260890
出願日： 1998年03月12日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 保持部材の昇降移動にかかる時間を短縮でき,かつ,塵埃等を発生させずに昇降手段を外部雰囲気から十二分に保護できる搬送装置を提供する。【解決手段】 ウェハWを保持するアーム本体20と,アーム本体20を昇降させるボールネジ軸機構21を備えた搬送アーム4において,ボールネジ軸機構21を覆うカバー22を,第1のカバー体25,第2のカバー体26,第3のカバー体27を上下に重ね合わせる構成とし,これらは内側になるほど下側に配置されている。第1のカバー体25及び第2のカバー体26同士と,第2のカバー体26及び第3のカバー体27同士とを常に部分的に重ね合わせた状態で,ボールネジ軸機構21の昇降稼働に伴い第2のカバー体26及び第3のカバー体27を昇降移動させることにより,ボールネジ軸機構21を常に覆った状態で,カバー22を伸縮自在に構成した。
請求項（抜粋）：
基板を保持する保持部材と,前記保持部材を昇降させる昇降手段を備えた搬送装置において,前記昇降手段を外部雰囲気から保護するためのカバーを,複数の筒状のカバー体を重ね合わせた構成とし,これらカバー体は,内側になるほど下側に配置され,さらに,前記複数のカバー体同士を,少なくとも常に部分的に重ね合わせた状態で,昇降手段の昇降稼働に伴い相対的に移動させることにより,昇降手段を常に覆った状態で,前記カバーを伸縮自在に構成したことを特徴とする,搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/07
FI (3件)：
H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 535 ,  B65G 49/07 D
引用特許：
審査官引用 (5件)
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