特許
J-GLOBAL ID：200903029958332193

基板回転装置

発明者：
早 野 一 臣

早 野 一 臣 について


出願人/特許権者：
平田機工株式会社

平田機工株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-052398
公開番号（公開出願番号）：特開2004-265962
出願日： 2003年02月28日
公開日（公表日）： 2004年09月24日
要約：
【課題】液晶基板や半導体基板等を吸着・保持する回転テーブルであって、基板を安定して吸着・保持することが可能な回転テーブルの有する基板回転装置を提供する。【解決手段】ガラス基板20の裏面を吸着して保持する回転テーブル2と回転テーブル2を下面から支持して回転するスピンドル15を有する基板回転装置1において、この回転テーブル2は回転テーブル2の表面に設けた吸着孔5を有する低硬度材質の吸着板3と、回転テーブル2の裏面に設けられ、吸着孔5に連通され、スピンドル15へ通じた吸気孔aを有する高硬度材質の補強板8とから構成され、吸着板3と補強板8とが互いに向かい合う面を密着させ接合面10とした回転テーブル2である。吸着板3と補強板8はボルト締結されて接合面10を形成されている。回転テーブル2の表面には、吸着孔5に沿って更に吸着溝4が設けられ、吸着孔5と吸着溝4は吸着板3と補強板8を接合面10で接合した後に、機械加工によって形成される。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
基板の裏面を吸着して保持する回転テーブルと前記回転テーブルを下面から支持して回転する回転軸を有する基板回転装置において、 前記回転テーブルは、 前記回転テーブルの表面に設けた吸着孔を有する低硬度材質の吸着板と、 前記回転テーブルの裏面に設けられ、前記吸着孔に連通され、前記回転軸へ通じた吸気通路を有する高硬度材質の補強板と、から構成され、 前記吸着板と前記補強板とが互いに向かい合う面を密着させた接合面とした回転テーブルであることを特徴とする基板回転装置。
IPC (3件)：
H01L21/68 ,  B05C11/08 ,  H01L21/027
FI (4件)：
H01L21/68 P ,  B05C11/08 ,  H01L21/30 564C ,  H01L21/30 569C
Fターム (16件)：
4F042AA07 ,  4F042AA10 ,  4F042AB00 ,  4F042DF09 ,  4F042DF32 ,  4F042EB09 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031HA14 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031PA14 ,  5F046JA10 ,  5F046LA05
引用特許：
審査官引用 (4件)
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