特許
J-GLOBAL ID:200903029987120766
クリーンルーム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
北村 修一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-138854
公開番号(公開出願番号):特開2006-317048
出願日: 2005年05月11日
公開日(公表日): 2006年11月24日
要約:
【課題】 室内の中央領域において要求される清浄度が高い場合に、その中央領域において高い清浄度を確保できるようにしながら、運転経費を大きく抑制できるようにする。【解決手段】 清浄空気を下向きに吹き出し可能な吹き出し口10を天井側に設け、室内空気を横側から室外に排出可能な排気口14を周壁1又はその近傍の床面近くに設けてあるクリーンルームであって、室内を、平面視で、要求される清浄度が高い中央領域16と、その中央領域を囲む外周領域17とに区画し、吹き出し口からの単位面積当たりの吹き出し風量の分布を、中央領域における最小吹き出し風量Qminが外周領域における最大吹き出し風量Q1よりも多くなり、かつ、中央領域において外周領域との境界側ほど領域中央部よりも多くなるように設定可能に設けてある。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
清浄空気を下向きに吹き出し可能な吹き出し口を天井側に設け、室内空気を横側から室外に排出可能な排気口を周壁又はその近傍の床面近くに設けてあるクリーンルームであって、
室内を、平面視で、要求される清浄度が高い中央領域と、その中央領域を囲む外周領域とに区画し、
前記吹き出し口からの単位面積当たりの吹き出し風量の分布を、前記中央領域における最小吹き出し風量が前記外周領域における最大吹き出し風量よりも多くなり、かつ、前記中央領域において前記外周領域との境界側ほど領域中央部よりも多くなるように設定可能に設けてあるクリーンルーム。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (4件):
3L058BE08
, 3L058BF01
, 3L058BF06
, 3L058BG01
引用特許:
出願人引用 (1件)
審査官引用 (3件)
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クリーンルーム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-128221
出願人:株式会社東洋製作所
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クリーンルームの空調システム
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-116371
出願人:日立プラント建設株式会社
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蒸気排出方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-194094
出願人:日立プラント建設株式会社
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