特許
J-GLOBAL ID：200903029997419336
感放射線組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-046374
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241978
出願日： 1999年02月24日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 特に他の膜層、とりわけ酸性の上層反射防止膜によるパターン形状への影響を受けにくく、未露光部であるパターンの高さやパターン頭部の矩形性を保つことが出来る感放射線組成物を提供する。【解決手段】 塗膜形成樹脂(A)、光酸発生剤(B)及び有機塩基(C)を含有する感放射線組成物に於いて、塗膜形成樹脂(A)が、酸の存在下、それぞれ異なった分解率を示しアルカリ可溶となる、下記構造単位(I)と(III)からなる樹脂(A1)と、下記構造単位(II)と(III)からなる樹脂(A2)との混合物である感放射線組成物。
請求項（抜粋）：
塗膜形成樹脂(A)、光酸発生剤(B)及び有機塩基(C)を含有する感放射線組成物に於いて、塗膜形成樹脂(A)が、酸の存在下、それぞれ異なった分解率を示しアルカリ可溶となる、下記構造単位(I)と(III)からなる樹脂(A1)と、下記構造単位(II)と(III)からなる樹脂(A2)との混合物である樹脂組成物であって、樹脂(A1)のQとM(ここで、樹脂(A1)のQは、構造単位(I)のモル数/{構造単位(I)のモル数+構造単位(III)のモル数}であり、樹脂(A1)のMは、塗膜形成樹脂(A)の構造単位(I)を全て(III)に置き換えた場合のポリスチレン換算重量平均分子量である。)の値が、0.45≦Q≦1.0、かつ500≦M≦8000であることを特徴とする感放射線組成物。【化1】(ただし、R1 、R5 、及びR7 はそれぞれ独立に水素原子またはメチル基を表し、R2 及びR3 はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1以上2以下のアルキル基を表し、R4 及びR6 はそれぞれ独立に炭素数1以上10以下の鎖状または環状のアルキル基を表す。また、R2 とR3 あるいはR2 とR4 とが互いに結合して、炭素数3以上10以下の環を形成していてもよい。)
IPC (3件)：
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/039 601
, G03F 7/004 503 A
, H01L 21/30 502 R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA10
, 2H025AB16
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB17
, 2H025CB41
, 2H025CB51
, 2H025CB55
, 2H025CB56
, 2H025CC20
, 2H025FA17
