特許
J-GLOBAL ID：200903030122549315

誘導結合プラズマ質量分析装置

発明者：
山田 憲幸

山田 憲幸 について

, 
緑川 良太郎

緑川 良太郎 について


出願人/特許権者：
横河アナリティカルシステムズ株式会社

横河アナリティカルシステムズ株式会社 について


代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-198359
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040098
出願日： 1997年07月24日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】 イオンロスが少なくかつイオンビーム経路の調整が容易なフォトン阻止手段を備えた誘導結合プラズマ質量分析装置を実現する。【解決手段】 スキマー32の後段に設けた第1の板部材240に、スキマーの開口を光学軸200に沿って投影した投影像とは重ならない開口250を設け、その後段にイオンレンズ242〜246を設け、イオンレンズの後段に開口250の光学軸方向の投影像とは重ならない開口260を持つ第2の板部材248を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
誘導結合プラズマによって被分析元素のイオンを生成するイオン生成手段と、前記イオン生成手段が生成したイオンを導入する開口を有するスキマー手段と、前記スキマー手段の後段に配設され、前記スキマー手段の前記開口を光学軸方向に投影した投影像とは重ならない開口を有する第1の板部材と、前記第1の板部材の後段に配設され前記第1の板部材の前記開口の位置に物点を有しこの物点から発散するイオンを像点に集束させるイオンレンズ手段と、前記イオンレンズ手段の後段に配設され、前記第1の板部材の前記開口を光学軸方向に投影した投影像とは重ならない開口を前記像点に相当する位置に有する第2の板部材と、前記第2の板部材の後段に配設され前記第2の板部材の前記開口を通過したイオンについて質量分析を行う質量分析手段と、を具備することを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
IPC (4件)：
H01J 49/06 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/10 ,  H05H 1/46
FI (4件)：
H01J 49/06 ,  G01N 27/62 G ,  H01J 49/10 ,  H05H 1/46 L
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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