静圧気体軸受

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-030854
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222124
出願日： 1996年02月19日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】静圧空気軸受の小形化、軽量化及び低コスト化を図る。【解決手段】軸受パッド9a及び9bの軸受面51に真空吸着用溝18を設ける。軸受パッド9aの軸受面51からの圧縮空気噴出による垂直方向の浮上力と真空吸着用溝18での真空吸引による垂直方向の真空吸着力に軸受パッド9a,9bの重力とをバランスさせることにより、軸受パッド9aを垂直方向に支持し、軸受パッド9bの軸受面51からの圧縮空気噴出による水平方向の浮上力と真空吸着用溝18での真空吸引によるの水平方向の真空吸着力とをバランスさせることにより、軸受パッド9bを水平方向に支持する。

請求項（抜粋）：

固定体と、該固定体に設けた平面状の案内面に軸受すき間を介して対向する平面状の軸受面を有する軸受パッドとを備え、前記軸受面には前記軸受すき間に圧縮気体を噴出する圧縮気体噴出部と固定体を吸引する真空吸着部とを設けたことを特徴とする静圧気体軸受。

引用特許：

審査官引用 (5件)

静圧軸受装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-000976 出願人：株式会社東芝
静圧移動案内装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-121358 出願人：富士通オートメーション株式会社
非接触型移動テーブル
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-227975 出願人：株式会社新川

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