電子衝撃加熱器の温度制御装置と温度制御方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：北條和由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-131322
公開番号（公開出願番号）：特開2005-056582
出願日： 2003年05月09日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】温度制御のしやすさと正確な温度制御の両立を図る。【解決手段】フィラメント9に供給するフィラメント電力を制御する電力調整器16を備え、加熱プレート2の昇温時は、エミッション電流調節計17によりフィラメント9と加熱プレート2との間に流れるエミッション電流を測定しながら、前記電力調整器16によりエミッション電流が予め設定された所定の値になるように制御する。また、加熱プレート2の温度を測定しながら、その測定温度が予め設定された所定の温度に達した後は、温度調節計18により加熱プレート2の温度を測定しながら、電力調整器16により加熱プレート2の温度が前記の設定温度になるよう制御するものである。この場合に、切替器19は、前記温度調節計18により測定される温度測定値が設定温度に達したことにより切り替えられる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

IPC (4件)：

H05B7/00 , H01L21/02 , H05B1/00 , H05B7/144

FI (4件)：

H05B7/00 B , H01L21/02 Z , H05B1/00 , H05B7/144 Z

Fターム (9件)：

3K058AA02 , 3K058BA19 , 3K058CA04 , 3K084AB06 , 3K084BA07 , 3K084BB02 , 3K084BC05 , 3K084BD00 , 3K084BE01

引用特許：

出願人引用 (7件)

電子加熱ホットプレート装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-402604 出願人：株式会社ムサシノエンジニアリング
板体加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-203581 出願人：助川電気工業株式会社
板体加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-161585 出願人：助川電気工業株式会社

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審査官引用 (7件)

電子加熱ホットプレート装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-402604 出願人：株式会社ムサシノエンジニアリング
板体加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-203581 出願人：助川電気工業株式会社
板体加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-161585 出願人：助川電気工業株式会社

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