特許
J-GLOBAL ID：200903030377326816
開環メタセシス共重合体水素添加物およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金田 暢之 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-114075
公開番号（公開出願番号）：特開2001-354756
出願日： 2001年04月12日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
要約：
【要約】【課題】 耐熱性、耐熱分解性、光透過性に優れ、半導体微細加工用フォトレジストに適した開環メタセシス重合体水素添加物を提供する。【解決手段】 少なくとも式[3]および/または[4]の構造単位を含む開環メタセシス重合体水素添加物。【化1】[R8〜R11、R13〜R16はH又はC1-10のアルキル基、X2、X3は-O-又は-CR122-(R12はH又はC1-10のアルキル基)、Y1、Y2は一方が-(C=O)-、他方が-CR182-(R18はH又はC1-10のアルキル基)、m、nは0又は1-3の整数]
請求項（抜粋）：
下記一般式[1]【化1】(式中、R1〜R4のうち少なくとも一つが、下記一般式[2]【化2】(式中、鎖線は結合手を示す。R5は水素原子、炭素数1〜10の直鎖状、分岐状または環状のアルキル基、炭素数2〜10の直鎖状、分岐状または環状のアルコキシアルキル基、または炭素数1〜10の直鎖状、分岐状または環状のアシル基を示す。R6は炭素数1〜10の直鎖状、分岐状または環状のアルキル基を示す。W1は単結合または炭素数1〜10のk+2価の炭化水素基を示す。Zは炭素数2〜15の2価の炭化水素基を示し、結合する炭素原子とともに単環または架橋環を形成する。kは0または1である。)で表される環状アルキルの三級エステル基を有する官能基であり、その他はそれぞれ独立に、水素原子、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状または環状のアルキル基、ハロゲン、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状または環状のハロゲン化アルキル基、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状または環状のアルコキシ基、炭素数2〜20の直鎖状、分岐状または環状のアルコキシアルキル基、炭素数2〜20の直鎖状、分岐状または環状のアルキルカルボニルオキシ基、炭素数6〜20のアリールカルボニルオキシ基、炭素数1〜20の直鎖状、分岐状または環状のアルキルスルホニルオキシ基、炭素数6〜20のアリールスルホニルオキシ基、炭素数2〜20の直鎖状、分岐状または環状のアルコキシカルボニル基、または炭素数3〜20の直鎖状、分岐状または環状のアルコキシカルボニルアルキル基から選ばれ、X1 は-O-または-CR72-(R7は水素原子または炭素数1〜10の直鎖状または分岐状のアルキル基を表す)であり、同一でも異なってもよい。jは0または1〜3の整数を表す。)で表される構造単位[A]を所望により含み、かつ、下記一般式[3]【化3】(式中、R8〜R11は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜10の直鎖状、分岐状または環状のアルキル基であり、X2は-O-または-CR122-(R12は水素原子または炭素数1〜10の直鎖状または分岐状のアルキル基を表す)であり、同一でも異なってもよい。mは0または1〜3の整数を表す。)で表される構造単位[B]および/または下記一般式[4]【化4】(式中、R13〜R16は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数1〜10の直鎖状、分岐状または環状のアルキル基であり、 X3は-O-または-CR172-(R17は水素原子または炭素数1〜10の直鎖状または分岐状のアルキル基を表す)であり、同一でも異なってもよい。Y1およびY2は、一方が-(C=O)-であり、他方は、-CR182-(R18は水素原子または炭素数1〜10の直鎖状または分岐状のアルキル基を表す)である。nは0または1〜3の整数を表す。)で表される構造単位[C]を少なくとも含み、かつ、一般式[1]で表される構造単位[A]のX1、一般式[3]で表される構造単位[B]のX2、および一般式[4]で表される構造単位[C]のX3のうち少なくとも1つが-O-であり、その構成モル比[A]/([B]および[C])が0/100〜99/1であり、かつ重量平均分子量Mwと数平均分子量Mnとの比(Mw/Mn)が1.0〜2.0である開環メタセシス重合体水素添加物。
IPC (2件)：
C08G 61/12
, G03F 7/039 601
C08G 61/12
, G03F 7/039 601
2H025AA00
, 2H025AA10
, 2H025AB16
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BG00
, 2H025FA03
, 2H025FA12
, 2H025FA17
, 4J032BB03
, 4J032BB06
, 4J032BC01
, 4J032BD01
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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