特許
J-GLOBAL ID：200903030604401889

共焦点レーザ顕微鏡

発明者：
飯塚 智幸

飯塚 智幸 について

, 
北原 章広

北原 章広 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-214695
公開番号（公開出願番号）：特開2008-040154
出願日： 2006年08月07日
公開日（公表日）： 2008年02月21日
要約：
【課題】倍率の異なる対物レンズの瞳の径の違いに影響されることなく、試料に対する高い検出精度と高い合焦検出感度を得ることが可能な共焦点レーザ顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明は、レーザ光源1と、偏光ビームスプリッタ(PBS)3と、複数のビームエキスパンダ17と、2次元走査機構4と、瞳投影レンズ5と、結像レンズ6と、1/4波長板7と、対物レンズ9と、ステージ12と、結像レンズ13と、ピンホール14と、光検出器15と、を備え、ビームエキスパンダ17は、入射したレーザビーム2のビーム径を、光路上に配置された対物レンズ9の瞳8の径と略同一に変更させる共焦点レーザ顕微鏡を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
レーザビームを出射する光源と、 前記光源から出射された前記レーザビームを偏向して試料を走査する2次元走査機構と、 前記2次元走査機構によって偏向された前記レーザビームを前記試料に結像させる複数の対物レンズと、 前記光源と前記2次元走査機構の間に配置され、前記光源から出射された前記レーザビームを透過させ、前記試料から反射した反射光を反射させるビームスプリッタと、 前記ビームスプリッタで反射した前記反射光を受光する受光部と、 前記受光部によって受光された前記反射光の強度に基づいて前記試料の高さ情報を算出する算出部と、 を具備する共焦点レーザ顕微鏡であって、 前記ビームスプリッタと前記2次元走査機構の間に配置され、前記ビームスプリッタを透過する前記レーザビームの径を前記光路上に配置された前記対物レンズに対応させて変更させるビーム径変更部と、 を具備することを特徴とする共焦点レーザ顕微鏡。
IPC (1件)：
G02B 21/00
FI (1件)：
G02B21/00
Fターム (5件)：
2H052AA07 ,  2H052AC04 ,  2H052AC15 ,  2H052AC34 ,  2H052AD33
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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