特許
J-GLOBAL ID:200903030707543851

画像露光装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 小林 和憲 ,  飯嶋 茂 ,  小林 英了
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-141265
公開番号(公開出願番号):特開2008-298807
出願日: 2007年05月29日
公開日(公表日): 2008年12月11日
要約:
【課題】投影光学系や露光対象からの反射光に起因する不要光が露光対象に入射することを防止し、露光画像の鮮鋭度の向上を図る。【解決手段】デジタル露光装置は、複数の露光ヘッドを備えている。各露光ヘッドには、複数のマイクロミラーによって光源からの光を変調するDMDと、各マイクロミラーからの光を個別に集光するマイクロレンズ43aが形成されたマイクロレンズアレイ43と、各マイクロレンズ43aに対応したアパーチャ44aが形成されたアパーチャアレイ44とが設けられている。アパーチャアレイ44は、透光性を有する本体部85と、この本体部85の上に形成された反射防止膜86と、この反射防止膜86の上に形成された遮光膜87とからなる。反射防止膜86と遮光膜87とは、アパーチャアレイ44の下面側から来る光を吸収し、その光が反射することを防止する。【選択図】図3
請求項(抜粋):
光源から照射された光を変調する複数の画素部が二次元的に配列されてなる空間光変調素子と、前記空間光変調素子の前記各画素部からの光をそれぞれ個別に結像する複数のマイクロレンズが二次元的に配列されてなるマイクロレンズアレイと、前記各マイクロレンズが結像した光をそれぞれ個別に通過させる複数のアパーチャが二次元的に配列されてなるアパーチャアレイと、前記アパーチャアレイを通過した光を露光対象に投影する投影光学系とを有する露光ヘッドを備え、画像情報を基に変調された光を前記露光対象に投影することによって前記露光対象に画像を記録する画像露光装置において、 前記アパーチャアレイは、前記各マイクロレンズの焦点位置に前記各アパーチャが来るように配置され、前記投影光学系側から来る光の反射を防止する低反射化膜を有することを特徴とする画像露光装置。
IPC (1件):
G03F 7/20
FI (1件):
G03F7/20 501
Fターム (7件):
2H097AA03 ,  2H097AB05 ,  2H097BA10 ,  2H097CA06 ,  2H097GB04 ,  2H097LA09 ,  2H097LA12
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
  • 画像露光装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2005-007197   出願人:富士写真フイルム株式会社
  • 画像露光装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2005-176459   出願人:富士フイルムホールディングス株式会社
  • 画像形成装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2002-287639   出願人:富士写真フイルム株式会社

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