特許

J-GLOBAL ID：200903030731827305

イオンビームの電荷中和装置とその方法

発明者： 佐野 信 ,  杉谷 道朗
出願人/特許権者： 住友イートンノバ株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-088122
公開番号（公開出願番号）：特開2003-288857
出願日： 2002年03月27日
公開日（公表日）： 2003年10月10日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 複数組の永久磁石を配置することにより形成されるカスプ磁場を用いて電子の閉じ込めを行うことによって、スキャンされるイオンビームに対して、広範囲にわたる電子の安定な供給を可能にする電子中和装置と、電子中和方法、及び、電子中和装置を有するイオン注入装置を提供する。【解決手段】 電場または磁場によってイオンビームをスキャンする機構を持つイオンビームラインにおいて、あるいは、シート状またはリボン状のイオンビームを形成する機構を持つイオンビームラインにおいて、永久磁石を配置することにより形成されるカスプ磁場を利用して電子の閉じ込めを行うことによって、ビームの進行方向及びビームのスキャン方向と交差する方向から、または、ビームの進行方向及びシート状またはリボン状のビームの拡がり方向と交差する方向から、電子を供給することにより電荷を中和させる。

請求項（抜粋）：

イオン源から目的体に向けて進行するイオンビームの中間進行部分に対して電場または磁場を作用させて、該電場または磁場の連続可変制御駆動に基づいて、該イオンビームを特定範囲にわたって往復スキャンニングするよう構成し、該走査されたイオンビームを平行ビーム化するよう構成し、該平行化されたイオンビームの走査範囲全域にわたって、電子蓄積部にプールした電子を均一に供給することを特徴とするイオンビームの電荷中和装置。

IPC (5件)：

H01J 37/317 ,  C23C 14/48 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/265 603

FI (5件)：

H01J 37/317 Z ,  C23C 14/48 C ,  H01J 37/20 H ,  H01L 21/265 603 B ,  H01L 21/265 N

Fターム (10件)：

4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029AA25 ,  4K029CA10 ,  4K029DE06 ,  5C001AA01 ,  5C001CC07 ,  5C001DD01 ,  5C034CC13 ,  5C034CC19

引用特許：

審査官引用 (5件)

• イオン照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-328270   出願人：日新電機株式会社
• 特開平3-134947
  
• 中性化システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-181207   出願人：日新電機株式会社
• イオン注入装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-309287   出願人：日新電機株式会社
• イオン注入装置およびその駆動方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-059815   出願人：日本電気株式会社