特許
J-GLOBAL ID：200903054117039828

イオン注入装置およびその駆動方法

発明者：
永田 智孝

永田 智孝 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 尾身 祐助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-059815
公開番号（公開出願番号）：特開2001-250501
出願日： 2000年03月06日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：
【要約】【課題】 ウエハ表面上を照射するイオンビームに対して最適かつ均一な電子量を供給できるようにして、ウエハ表面でのチャージアップの問題を解消する。【解決手段】 中和装置は、走査イオンビーム6が紙面の表から裏へ通過する中空部5aを有するリフレクター5と、リフレクター5の電子導入口5b付近から電子4を供給するアークチャンバー3と、軸2を介してアークチャンバー3を上下移動させるための駆動装置1と、イオンビームの電荷量を測定するためのファラデー箱11と、電流計101〜103を介して電源12に接続される電極81〜83とから構成される。イオン注入の準備段階にて、イオンビームをファラデー箱11側を通過させ、その電荷量を計測する。その計測値に見合う電流が電流計101〜103に流れるようにチャンバー3の位置を調整する。イオンビームをリフレクター5側を通過させイオン注入を行う。
請求項（抜粋）：
イオンビームを発生させるイオンビーム発生手段と、電子を導入する電子導入口と、前記イオンビームを通過させる中空部と、を有し、電子を反射させるリフレクターと、前記リフレクターを通過する前記イオンビームの電荷量を測定するイオンビーム測定手段と、前記リフレクターの前記電子導入口に臨む位置に開口を有し、電子を発生させる電子発生手段と、前記電子発生手段の前記リフレクターへの電子の供給状態を変更することのできる電子発生状態制御手段と、測定モードと非測定モードとを有し、測定モードにおいて前記電子発生手段から前記リフレクターへ供給される電子の供給量を測定する電子測定手段と、を備えるイオン注入装置であって、前記電子測定手段には、前記イオンビームの電荷量を擬似する機能が備えられていることを特徴とするイオン注入装置。
IPC (3件)：
H01J 37/317 ,  C23C 14/48 ,  H01L 21/265
FI (3件)：
H01J 37/317 Z ,  C23C 14/48 B ,  H01L 21/265 N
Fターム (6件)：
4K029BD01 ,  4K029CA10 ,  4K029DE01 ,  4K029EA00 ,  5C034CC07 ,  5C034CC13
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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