特許
J-GLOBAL ID：200903030880004354

研磨布用ドレッサー及びそれを用いた研磨布のドレッシング方法

発明者：
鍋谷 忠克

鍋谷 忠克 について


出願人/特許権者：
株式会社リード

株式会社リード について


代理人 (3件)： 林 宏 ,  後藤 正彦 ,  林 直生樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-263215
公開番号（公開出願番号）：特開2004-098214
出願日： 2002年09月09日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】研磨布用ドレッサーにおいてドレッシング面の状態を調整可能とすることにより、砥粒の先端形状などドレッシング面の状態に個体差が生じたとしても、均一な研磨布表面を創出することができ、しかも、被加工物に応じた適切な研磨性能を研磨布表面に対して付与することが可能な研磨布用ドレッサー及びそれを用いた研磨布のドレッシング方法を提供する。【解決手段】台金2の周縁部に環状のドレッシング面4を備えた研磨布用ドレッサー1において、該ドレッシング面4に互いに異なる粒度の砥粒からなる第1,第2砥粒群5,6をそれぞれ交互に並設し、上記台金1に、これら各砥粒群5,6における最も粒度が大きい砥粒の先端を含む平面を基準面S1,S2としたとき、これら基準面S1,S2間の高低差δを任意に調節可能とする調節機構7を設けた。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
台金の表面にドレッシング面が形成されてなる研磨布用ドレッサーであって、上記ドレッシング面には、その周方向に複数の砥粒群が並設されており、 上記台金には、各砥粒群において砥粒の先端によってそれぞれ形成される基準面の上記ドレッシング面上における高低差を調節可能とする調節機構が設けられていることを特徴とする研磨布用ドレッサー。
IPC (5件)：
B24B53/12 ,  B24B37/00 ,  B24B53/02 ,  B24D13/14 ,  H01L21/304
FI (5件)：
B24B53/12 Z ,  B24B37/00 A ,  B24B53/02 ,  B24D13/14 B ,  H01L21/304 622M
Fターム (18件)：
3C047BB01 ,  3C047BB16 ,  3C047EE02 ,  3C047EE11 ,  3C047EE18 ,  3C058AA07 ,  3C058AA19 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12 ,  3C063AA02 ,  3C063AB05 ,  3C063BA04 ,  3C063BA10 ,  3C063BB02 ,  3C063BB21 ,  3C063BG07 ,  3C063EE26 ,  3C063FF30
引用特許：
審査官引用 (8件)
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