特許
J-GLOBAL ID：200903030923536797
発光体と、これを用いた電子線検出器、走査型電子顕微鏡及び質量分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 塩田 辰也
, 寺崎 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-296560
公開番号（公開出願番号）：特開2004-131567
出願日： 2002年10月09日
公開日（公表日）： 2004年04月30日
要約：
【課題】応答速度が速く、且つ発光強度が高い発光体と、これを用いた電子線検出器、走査型電子顕微鏡及び質量分析装置を提供する。【解決手段】本発明に係る発光体10においては、基板12の一方の面12aに形成された窒化物半導体層14が電子の入射により蛍光を発すると、少なくともこの蛍光の一部は基板12を透過し、基板12の他方の面12bから蛍光を出射する。この蛍光は、窒化物半導体層14の量子井戸構造への電子の入射と、これにより生成された電子と正孔の対の再結合に起因するものであり、その応答速度はμsecオーダー以下である。また、この蛍光の発光強度は、従来のP47蛍光体と同程度の強度が得られている。すなわち、この発光体10は、走査型電子顕微鏡や質量分析装置への適応に十分な応答速度及び発光強度を有している。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
入射する電子を蛍光に変換する発光体であって、
前記蛍光に対して透明な基板と、
前記基板の一方の面に形成され、前記電子の入射により前記蛍光を発する量子井戸構造を有する窒化物半導体層とを備えることを特徴とする発光体。
IPC (7件)：
C09K11/62
, G01T1/20
, G01T1/24
, G01T1/29
, H01J37/244
, H01J43/28
, H01J49/06
C09K11/62
, G01T1/20 B
, G01T1/24
, G01T1/29 B
, H01J37/244
, H01J43/28
, H01J49/06
2G088EE30
, 2G088FF10
, 2G088FF13
, 2G088GG10
, 2G088GG18
, 2G088GG21
, 2G088JJ09
, 2G088JJ10
, 2G088JJ31
, 4H001CA04
, 4H001CA08
, 4H001XA07
, 4H001XA13
, 4H001XA31
, 4H001XA49
, 5C033NN01
, 5C033NP02
, 5C033NP08
, 5C038FF04
, 5C038FF05
