特許
J-GLOBAL ID：200903031007956850
石英ガラス製冶工具の再生方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
和田 肇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-341813
公開番号（公開出願番号）：特開2005-067997
出願日： 2003年08月26日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：
【課題】 消耗石英ガラス製冶工具を、含有不純物を除去して再生する石英ガラス製冶工具の再生方法を提供する。【解決方法】 ユーザー10Aから供給された消耗石英ガラス製冶工具12を火炎加工室30内で所定温度以上の高温の火炎処理にて再溶融して不純物を取り除く再生処理を行い、再生石英ガラス製冶工具22の製品としてユーザー10Bに納入される。納入される再生石英ガラス製冶工具22の製品には品質データ24が添付される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体製造工程などに用いられる石英ガラス製冶工具の再生方法であって、
前記半導体製造工程での使用後に廃棄処分となる半導体製造業のユーザーから供給された消耗石英ガラス製冶工具が、
冷却装置を用いて冷風を導入して室内気圧を高めた火炎加工室内で所定温度以上の高温の火炎処理にて再溶融して不純物を取り除く再生処理され、
再生石英ガラス製冶工具の製品として前記ユーザー、又は、他のユーザーに納入されることを特徴とする、
石英ガラス製冶工具の再生方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C03B32/00
, H01L21/302 101G
4G015EA04
, 5F004BA14
, 5F004BB23
, 5F004BB29
