特許
J-GLOBAL ID：200903031144684131

クリーンルーム内顕熱処理用熱源設備

発明者：
南 輝雄

南 輝雄 について

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福本 隆

福本 隆 について

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杉原 義文

杉原 義文 について


出願人/特許権者：
株式会社日立プラントテクノロジー

株式会社日立プラントテクノロジー について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-098397
公開番号（公開出願番号）：特開2006-275469
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2006年10月12日
要約：
【課題】 自然冷却を有効に利用することにより冷凍機の消費動力を減らし、省エネルギー化された効率の良いクリーンルーム内顕熱処理用熱源設備を提供すること。【解決手段】 複数の冷却塔の上流と下流側のヘッダを分割しバルブで結合し、これらと冷凍機間の配管もバルブで結合し、外気温センサにより各々のバルブ開閉場所と開度を自動制御回路を用いて変更することにより、効率良く運転し、冷凍機の消費電力を低減し、省エネルギー運転を実現する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
上流側と下流側とにヘッダが設けられた第1の冷却塔と、 冷凍機と、 前記第1の冷却塔と前記冷凍機とを接続する第1のバルブと、 前記冷凍機と前記第1の冷却塔の上流ヘッダとを接続する冷却水系配管と、 上流側と下流側とにヘッダが設けられた第2の冷却塔と、 前記第2の冷却塔と前記冷凍機とを接続する第2のバルブと、 前記冷凍機とクリーンルームに設けられたドライコイルとを接続するとともに、前記ドライコイルと前記第2の冷却塔の上流側ヘッダとを接続する冷水系配管と、 前記第1の冷却塔の前記上流側のヘッダと前記第2の冷却塔の前記上流側のヘッダとを接続する第3のバルブと、 前記第1の冷却塔の下流側のヘッダと前記第2の冷却塔の下流側のヘッダとを接続する第4のバルブと、 前記第2のバルブと前記冷凍機との間の配管に一端が接続され、他端が前記冷水系配管に接続されたバイパス配管と、 前記バイパス配管に設けられた第5のバルブと、 クリーンルームの外気温を測定する外気温度測定センサと、 前記外気温度測定センサによって検出された外気温に基づいて前記第1乃至第5のバルブの開閉量を制御する制御装置と、 を備えたことを特徴とするクリーンルーム内顕熱処理用熱源設備。
IPC (4件)：
F24F 11/02 ,  F24F 1/00 ,  F24F 5/00 ,  F25D 17/02
FI (5件)：
F24F11/02 102L ,  F24F11/02 102F ,  F24F1/00 331 ,  F24F5/00 101Z ,  F25D17/02 303
Fターム (6件)：
3L050BB07 ,  3L050BB16 ,  3L054BF01 ,  3L054BF02 ,  3L060EE31 ,  3L060EE33
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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