プラズマ生成装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：油井透 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-214044
公開番号（公開出願番号）：特開平11-121198
出願日： 1998年07月29日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】プラズマ生成領域の中央部でも、高密度のプラズマを生成することができるようにする。【解決手段】プラズマ生成装置は、真空容器11と、ガス導入部12と、排気部13と、円筒形の放電用電極14と、高周波発振器19,21と、リング状の永久磁石15,16と、円盤状の一対の壁17,18とを備える。放電用電極14は、プラズマ生成領域41を囲むように配設されている。永久磁石15,16は、所定の磁力線を形成する。この磁力線は、放電用電極14の中心軸42とほぼ平行な部分を有し、この平行な部分の長さが中心軸42に近づくほど長くなるような磁力線である。一対の壁17,18は、放電用電極14の中心軸42方向におけるプラズマ生成領域41の範囲を規定する。この一対の壁17,18は、プラズマ生成領域41を上記中心軸42方向から挟むように配設されている。また、プラズマ生成装置は、プラズマ生成領域41の中央部を通過する磁力線43が一対の壁17,18と交差しないような形状を有するように構成されている。

請求項（抜粋）：

内部にプラズマ生成領域が設定される真空容器と、この真空容器の内部に放電用のガスを導入するガス導入手段と、前記真空容器の内部の雰囲気を排出する排気手段と、前記プラズマ生成領域を囲むように配設された円筒形の放電用電極と、この放電用電極に高周波電力を印加する第1の高周波電力印加手段と、前記放電用電極の中心軸とほぼ平行な部分を有し、この平行な部分の長さが前記中心軸に近づくほど長くなるような磁力線を形成する磁力線形成手段と、前記プラズマ生成領域を前記放電用電極の中心軸方向から挟むように配設され、この中心軸方向における前記プラズマ生成領域の範囲を規定する一対の壁とを備え、前記プラズマ生成領域の中央部を通過する前記磁力線が前記一対の壁と交差しないような形状を有するように構成されていることを特徴とするプラズマ生成装置。

IPC (6件)：

H05H 1/46 , C23C 16/50 , C23F 4/00 , H01L 21/205 , H01L 21/3065 , H01L 21/31

FI (6件)：

H05H 1/46 M , C23C 16/50 , C23F 4/00 G , H01L 21/205 , H01L 21/31 C , H01L 21/302 C

引用特許：

審査官引用 (9件)

表面処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-354023 出願人：佐藤徳芳, 日電アネルバ株式会社
特開昭63-017530
特開昭62-097328

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