特許
J-GLOBAL ID：200903031432855501
ポリウレタン発泡体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
特許業務法人 ユニアス国際特許事務所
, 尾崎 雄三
, 梶崎 弘一
, 谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-081403
公開番号（公開出願番号）：特開2008-238323
出願日： 2007年03月27日
公開日（公表日）： 2008年10月09日
要約：
【課題】略球状の気泡を有し、厚み精度に優れる研磨パッドの製造方法を提供する。【解決手段】機械発泡法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、面材A9を送り出しつつ、面材Aの幅方向の略中央部に気泡分散ウレタン組成物を1つの吐出口から連続的に吐出する工程、気泡分散ウレタン組成物上に面材B14を積層し、その後厚さ調整手段により気泡分散ウレタン組成物の厚さを均一に調整する工程、前工程で厚さを調整した気泡分散ウレタン組成物に更なる荷重を加えずに硬化させることによりポリウレタン発泡体からなる研磨シートを形成する工程、及び研磨シートを裁断する工程を含む研磨パッドの製造方法。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
機械発泡法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、面材Aを送り出しつつ、該面材Aの幅方向の略中央部に気泡分散ウレタン組成物を1つの吐出口から連続的に吐出する工程、該気泡分散ウレタン組成物上に面材Bを積層し、その後厚さ調整手段により気泡分散ウレタン組成物の厚さを均一に調整する工程、前工程で厚さを調整した気泡分散ウレタン組成物に更なる荷重を加えずに硬化させることによりポリウレタン発泡体からなる研磨シートを形成する工程、及び研磨シートを裁断する工程を含む研磨パッドの製造方法。
IPC (3件)：
B24B 37/00
, C08J 9/30
, H01L 21/304
B24B37/00 P
, C08J9/30
, H01L21/304 622F
3C058AA07
, 3C058AA09
, 3C058DA12
, 3C058DA17
, 4F074AA78
, 4F074BB08
, 4F074BC05
, 4F074CB52
, 4F074CC22X
, 4F074DA03
, 4F074DA14
, 4F074DA59
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (3件)
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