特許
J-GLOBAL ID：200903092855048229

積層研磨パッドの製造方法

発明者：
廣瀬 純司

廣瀬 純司 について

, 
堂浦 真人

堂浦 真人 について


出願人/特許権者：
東洋ゴム工業株式会社

東洋ゴム工業株式会社 について


代理人 (4件)： 鈴木 崇生 ,  梶崎 弘一 ,  尾崎 雄三 ,  谷口 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-249056
公開番号（公開出願番号）：特開2007-061929
出願日： 2005年08月30日
公開日（公表日）： 2007年03月15日
要約：
【課題】 製造工程が少なく、生産性に優れる積層研磨パッドの製造方法を提供する。【解決手段】 メカニカルフロス法により気泡分散ウレタン組成物14を調製する工程、クッション層9を送り出しつつその上に気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、厚さを均一に調整しつつ気泡分散ウレタン組成物を硬化させることによりポリウレタン発泡体からなる研磨層を形成して長尺積層シート17を作製する工程、及び長尺積層シートを裁断19する工程を含む積層研磨パッドの製造方法。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
メカニカルフロス法により気泡分散ウレタン組成物を調製する工程、クッション層を送り出しつつその上に気泡分散ウレタン組成物を連続的に吐出する工程、厚さを均一に調整しつつ気泡分散ウレタン組成物を硬化させることによりポリウレタン発泡体からなる研磨層を形成して長尺積層シートを作製する工程、及び長尺積層シートを裁断する工程を含む積層研磨パッドの製造方法。
IPC (2件)：
B24B 37/00 ,  H01L 21/304
FI (3件)：
B24B37/00 C ,  H01L21/304 622F ,  H01L21/304 621B
Fターム (4件)：
3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB03 ,  3C058CB05
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM