特許
J-GLOBAL ID：200903031455466898

ペリクルフレームへ気圧調整孔用フィルターを貼付する装置及び方法

発明者：
関原 一敏

関原 一敏 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 荒井 鐘司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-166513
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357893
出願日： 2001年06月01日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：
【要約】【課題】 気圧調整孔用フィルターを極めて高い位置精度で、フィルターへの異物の付着やフィルターの損傷を起こすことなく、貼付する装置を得ることを課題とする。【解決手段】 セパレーター5b上に貼付されている気圧調整孔用フィルター5aの端部を剥離させる手段と、端部を剥離させた気圧調整孔用フィルター5aを保持するための保持手段と、この保持手段を移動させることによって、気圧調整孔用フィルター5aをセパレーター5bから完全に取り外した後、ペリクルフレーム5cの所定の位置に移動させ、貼付する移動手段を備えているペリクルフレーム5cへ気圧調整孔用フィルター5aを貼付する装置。
請求項（抜粋）：
セパレーター上に貼付されている気圧調整孔用フィルターの端部を剥離させる手段と、端部を剥離させた気圧調整孔用フィルターを保持するための保持手段と、この保持手段を移動させることによって、気圧調整孔用フィルターをセパレーターから完全に取り外した後、ペリクルフレームの所定の位置に移動させ、貼付する移動手段を備えていることを特徴とするペリクルフレームへ気圧調整孔用フィルターを貼付する装置。
IPC (2件)：
G03F 1/14 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F 1/14 K ,  H01L 21/30 502 P ,  H01L 21/30 503 G
Fターム (6件)：
2H095BC31 ,  2H095BC36 ,  2H095BC39 ,  5F046AA22 ,  5F046AA25 ,  5F046CB17
引用特許：
審査官引用 (11件)
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