特許
J-GLOBAL ID：200903031478707116
酸化アルミニウム被膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-502950
公開番号（公開出願番号）：特表2007-528448
出願日： 2005年03月09日
公開日（公表日）： 2007年10月11日
要約：
【課題】酸化アルミニウム被膜をCVD法によりガラス基板上に形成する過程において、被膜形成を高速かつ均一に行うことができる製造方法を提供する。【解決手段】アルミニウム前駆体とカルボン酸エステルを含む流体混合物を高温の基板の表面上に接触させることにより、酸化アルミニウム被膜を基板に蒸着する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
アルミニウム前駆体を含む流体混合物を高温の基板の表面に接触させることによって、酸化アルミニウム被膜を前記高温の基板の表面上に被着させる方法であって、
前記流体混合物がカルボン酸エステルを含むことを特徴とする方法。
IPC (4件)：
C23C 16/40
, C03C 17/245
, C03C 17/34
, C23C 16/46
C23C16/40
, C03C17/245 Z
, C03C17/34 Z
, C23C16/46
4G059AA01
, 4G059AA08
, 4G059AB14
, 4G059AC03
, 4G059AC30
, 4G059EA01
, 4G059EA05
, 4G059EB01
, 4G059GA01
, 4G059GA02
, 4G059GA12
, 4K030AA11
, 4K030BA43
, 4K030CA06
, 4K030CA17
, 4K030FA10
, 4K030KA23
