特許
J-GLOBAL ID：200903031504070520

圧電素子及びその製造方法

発明者：
高橋 秀治

高橋 秀治 について

, 
望月 文彦

望月 文彦 について


出願人/特許権者：
富士フイルム株式会社

富士フイルム株式会社 について


代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-072769
公開番号（公開出願番号）：特開2009-231405
出願日： 2008年03月21日
公開日（公表日）： 2009年10月08日
要約：
【課題】上下の電極間のショートが防止される信頼性の高い圧電素子、及びそれを容易に製造することができる圧電素子の製造方法を提供する。【解決手段】支持体12上に、下部電極18と、圧電膜20aと、上部電極22aとが、この順に積層されており、圧電膜20aの側面に、下部電極を18構成する材料を含む酸化膜28が形成されている圧電素子11。圧電素子用部材10の上部電極22側に形成したマスク24を介してドライエッチングすることにより上部電極22及び圧電膜20をパターニングした後、パターニングされた圧電膜20aの側面(側壁付着膜26)を酸化させて酸化膜28にする。好ましくは、プラズマ酸化により酸化処理を行う。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
支持体上に、下部電極と、圧電膜と、上部電極とが、この順に積層されている圧電素子であって、 前記圧電膜の側面に、前記下部電極を構成する材料を含む酸化膜が形成されていることを特徴とする圧電素子。
IPC (8件)：
H01L 41/22 ,  H01L 41/09 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/105 ,  H01L 27/108 ,  H01L 41/18 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/316
FI (8件)：
H01L41/22 Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L27/10 444C ,  H01L27/10 651 ,  H01L41/18 101Z ,  H01L21/302 105A ,  H01L21/316 A
Fターム (38件)：
5F004BB11 ,  5F004BB13 ,  5F004CA02 ,  5F004CA04 ,  5F004CA06 ,  5F004CB02 ,  5F004CB15 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA04 ,  5F004DA11 ,  5F004DA16 ,  5F004DA18 ,  5F004DA23 ,  5F004DB00 ,  5F004DB08 ,  5F004DB12 ,  5F058BA07 ,  5F058BA08 ,  5F058BA11 ,  5F058BD05 ,  5F058BF73 ,  5F058BG01 ,  5F058BJ03 ,  5F058BJ04 ,  5F058BJ07 ,  5F083AD00 ,  5F083FR00 ,  5F083GA11 ,  5F083GA27 ,  5F083JA02 ,  5F083JA13 ,  5F083JA14 ,  5F083JA15 ,  5F083JA38 ,  5F083JA43 ,  5F083PR01 ,  5F083PR03
引用特許：
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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