特許
J-GLOBAL ID：200903031579087259
クリーニング方法及びクリーニング装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-272631
公開番号（公開出願番号）：特開平10-176272
出願日： 1997年10月06日
公開日（公表日）： 1998年06月30日
要約：
【要約】【課題】 クリーニングの終点で確実にクリーニング処理を終了させることができるようにする。【解決手段】 ガス導入点Aとガス排出点Bとがそれぞれ1つずつ設けられる。温度検出点Cがガス導入点Aとガス排出点Bとの間にクリーニングガスの流れの方向Dに沿って複数設けられる。これら複数の温度検出点C(1),C(2),...,C(N)の温度が最上流の温度検出点C(1)から最下流の温度検出点C(N)まで一旦上昇した後下降したとき、クリーニング処理が終了させられる。
請求項（抜粋）：
クリーニングガスを予め定めたガス導入点から反応炉の内部に導入した後、この反応炉の軸芯方向に沿って流し、予め定めたガス排出点から排出することにより反応炉の内部に付着した膜を除去するクリーニング方法において、クリーニング時、少なくともクリーニングが遅く終了する部分に定められた温度検出点の温度が一旦上昇した後下降したとき、クリーニング処理を終了させることを特徴とするクリーニング方法。
IPC (4件)：
C23C 16/44
, H01L 21/3065
, H01L 21/31
, H01L 21/205
C23C 16/44 J
, H01L 21/31 B
, H01L 21/205
, H01L 21/302 N
