レーザー光が透過することが出来る薄膜光センサーを用いたレーザー干渉計とこれを使用した変移、速度センサー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-276669
公開番号（公開出願番号）：特開2000-088514
出願日： 1998年09月11日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】従来の集積干渉計は、平面内に集積化され光導波路やハーフミラー等を利用しているため、光のカップリングロスが大きく、また導波路からの出力光が非平行光であり、ビームの方向を正確に調整しないと被測定物体からの反射光の大部分が導波路に戻らない等の問題があった。これらの理由により、従来の集積光学干渉計の測定範囲は実用に耐えないくらい小さかった。【解決手段】本発明は、レーザー光が透過することが出来る薄膜光センサーを使用して、レーザー光源とミラーとの間の空間に、レーザー光源のレーザー光とミラーからの反射されたレーザー光との合成波による定在波を作成し、この定在波を横切って薄膜光センサーを配置して、定在波の空間干渉縞を検出するようにしたレーザー干渉計とこれを使用した変移、速度センサを実現したものである。これにより、ビーム径の大きい、平行光を利用することが可能になり、測定範囲が大きく取れ、各素子の集積化に適したレーザー干渉計を構成することを可能にしたものである。

請求項（抜粋）：

レーザー光を発射するレーザー光源と、レーザー光源のレーザー光を光軸方向に反射するミラーと、レーザー光が透過することが出来、透過するレーザー光の強さを検出する機能を持っている薄膜光センサーとを具備し、レーザー光源のレーザー光をミラーにより垂直に反射することによりレーザー光源とミラーとの間の空間にレーザー光源のレーザー光とミラーからの反射されたレーザー光との合成波による定在波を作成し、該定在波を横切って薄膜光センサーを配置してなる薄膜光センサーを用いたレーザー干渉計。

IPC (3件)：

G01B 9/02 , G01P 3/36 , G01S 17/58

FI (3件)：

G01B 9/02 , G01P 3/36 D , G01S 17/58

Fターム (20件)：

2F064AA04 , 2F064FF02 , 2F064GG12 , 2F064GG46 , 2F064HH02 , 2F064HH05 , 2F064HH08 , 2F064JJ01 , 5J084AA06 , 5J084AA07 , 5J084AD08 , 5J084BA04 , 5J084BA40 , 5J084BB06 , 5J084BB27 , 5J084BB40 , 5J084DA01 , 5J084DA09 , 5J084EA05 , 5J084EA31

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭52-104255
特開昭52-104255
干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-290285 出願人：株式会社ニコン

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