音叉型慣性センサ素子

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-377072
公開番号（公開出願番号）：特開2004-205426
出願日： 2002年12月26日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】音叉型慣性センサ素子の慣性質量アンバランスを改善することを目的とする。【解決手段】課題を解決するために本発明は、Y軸に平行に基部から突出した少なくとも2つの脚部を持つ音叉型振動子を用いた音叉型慣性センサ素子において、前記2つの脚部の幅寸法をW1、前記基部の幅寸法をW2としたとき、W1<W2の関係の形状により課題を解決する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

Y軸に平行に基部から突出した少なくとも2つの脚部を持つ音叉型振動子を用いた音叉型慣性センサ素子において、前記2つの脚部の幅寸法をW1、前記基部の幅寸法をW2としたとき、W1<W2の関係の形状を持つことを特徴とする音叉型慣性センサ素子。

IPC (4件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 , H01L41/18

FI (4件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 Z , H01L41/18 101A

Fターム (6件)：

2F105AA01 , 2F105BB01 , 2F105BB12 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06

引用特許：

審査官引用 (5件)

音叉型振動子及び音叉型振動ジャイロ
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-349738 出願人：富士通株式会社, 富士通東和エレクトロン株式会社
振動型ジャイロスコープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-251248 出願人：富川義朗, アルプス電気株式会社
圧電ジャイロ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-250262 出願人：富士通株式会社

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