特許
J-GLOBAL ID：200903031901607522
透明部を有する不透明石英ガラスリングの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-014248
公開番号（公開出願番号）：特開平11-209135
出願日： 1998年01月27日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：
【要約】【課題】不透明部中に気泡が均一に分散され、高温粘性及び熱遮断性に優れ、かつ透明部において気泡由来の凹凸がない平滑な表面を有する、半導体製造における各種加熱処理装置の炉芯管のフランジ部材に適した不透明石英ガラスリングを容易に製造する方法を提供する。【解決の手段】見掛密度、平均気泡径、気泡量が特定の範囲にある不透明石英ガラスに、見掛密度、気泡径、気泡量が特定の範囲にある透明部が積層された不透明石英ガラスリングの製造方法において、型内の空間がリング状である耐熱性の型に透明石英ガラスリングを配置し、その上に平均粒子径10〜500μmのシリカ粉末と所定量の窒化ケイ素粉末との混合粉末を充填し、その後真空雰囲気下にて前記混合粉末が溶融する温度以上1900°C以下の温度にて加熱しガラス化させることを特徴とする不透明石英ガラスリングの製造方法を用いる。
請求項（抜粋）：
見掛密度が1.70〜2.15g/cm3、平均気泡径が10〜100μm、気泡量が5×104〜5×106個/cm3である不透明石英ガラスに、見掛密度が2.19〜2.21g/cm3、気泡径100μm以上の気泡量が1×103個/cm3以下である透明部が積層された不透明石英ガラスリングの製造方法において、型内の空間がリング状である耐熱性の型に透明石英ガラスリングを配置し、その上に平均粒子径10〜500μmのシリカ粉末とシリカ粉末100重量部に対して窒化ケイ素粉末0.001〜0.05重量部との混合粉末を充填し、その後真空雰囲気下にて前記混合粉末が溶融する温度以上1900°C以下の温度にて加熱しガラス化させることを特徴とする不透明石英ガラスリングの製造方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C03B 20/00 K
, C03B 20/00 G
, C03B 19/08 E
