特許
J-GLOBAL ID：200903031961207655
高耐食性炭化ケイ素質部材及びその用途
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松井 茂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-244582
公開番号（公開出願番号）：特開平10-120466
出願日： 1997年08月26日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：
【要約】【課題】 フッ酸、硝酸などによる洗浄や、プラズマエッチングなどにも十分に耐えることができる高耐食性炭化ケイ素質部材を提供する。【解決手段】 α型炭化ケイ素を主成分とする焼結体からなる炭化ケイ素質部材において、不純物である鉄の含有量を1ppm以下、アルミニウムの含有量を5ppm以下、カルシウムの含有量を3ppm以下とする。
請求項（抜粋）：
α型炭化ケイ素の含有量が90重量%以上の焼結体からなり、鉄の含有量が1ppm以下、アルミニウムの含有量が5ppm以下、カルシウムの含有量が3ppm以下であることを特徴とする高耐食性炭化ケイ素質部材。
IPC (3件)：
C04B 35/565
, H01L 21/3065
, H01L 21/68
C04B 35/56 101 A
, H01L 21/68 N
, H01L 21/302 B
