特許
J-GLOBAL ID：200903031988629888

容量式物理量検出装置

発明者：
酒井 峰一

酒井 峰一 について

, 
吉原 晋二

吉原 晋二 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-279971
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099861
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：
【要約】【課題】 別体の自己診断用の電極を設けることなく、効率的に自己診断を可能な容量式半導体加速度センサを提供する。【解決手段】 加速度センサ100は、梁の長手方向と直交する方向に変位する梁部22を有し、この梁部22に一体に形成された可動電極24と固定電極32、42との間に周期的に変化する信号を印加して、これら両電極間の容量CS1、CS2の差動容量変化に応じた電圧を出力することにより加速度を検出する。ここで、加速度を検出するための検出信号と自己診断信号とを切り替えて印加し、自己診断信号の印加によって可動電極24に疑似的な加速度を発生させるようになっており、可動電極24の変位方向の梁幅W1を梁部22の変位方向の梁幅W2と略同一とし且つ可動電極24の変位方向の剛性を梁部22の変位方向の剛性よりも大きくしている。
請求項（抜粋）：
梁形状をなすとともに物理量の印加に応じて該梁の長手方向と直交する方向に変位するバネ機能を有する梁部(22)と、この梁部に一体に形成されて前記梁部と同一方向に延びる梁形状をなし、前記梁部とともに前記梁部の変位方向へ変位可能な可動電極(24)と、前記可動電極に対向して配置された固定電極(32、42)と、周期的に変化する信号であって前記物理量を検出するための検出信号と周期的に変化する信号であって自己診断を行うための自己診断信号とを切り替えて、前記可動電極と前記固定電極との間に印加する信号印加手段(220)と、前記可動電極と前記固定電極とからなる容量の変化に応じた電圧を出力するC-V変換回路(210)とを備え、前記検出信号の印加中に発生する前記容量の変化に応じて前記物理量を検出し、前記自己診断信号の印加によって前記梁部を変位させることにより前記可動電極に疑似的な物理量を発生させるようになっており、前記可動電極におけるその変位方向の梁幅(W1)が、前記梁部におけるその変位方向の梁幅(W2)と略同一であり、且つ、前記可動電極におけるその変位方向の剛性が、前記梁部におけるその変位方向の剛性よりも大きくなっていることを特徴とする容量式物理量検出装置。
IPC (4件)：
G01P 15/125 ,  B81B 3/00 ,  G01L 1/14 ,  H01L 29/84
FI (4件)：
G01P 15/125 ,  B81B 3/00 ,  G01L 1/14 K ,  H01L 29/84 Z
Fターム (12件)：
4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112CA32 ,  4M112CA36 ,  4M112DA02 ,  4M112DA17 ,  4M112DA18 ,  4M112EA02 ,  4M112EA06 ,  4M112EA14
引用特許：
審査官引用 (4件)
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