特許
J-GLOBAL ID：200903044005427188
センサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大貫 進介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-059798
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012896
出願日： 1997年02月26日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】 可動および固定櫛構造間の短絡を防止し、容量を増大し、しかも大型化を招かないセンサの製造方法を提供する。【解決手段】 センサ(100)の製造方法は、基板(200)を用意する段階と、基板(200)を覆う固定櫛型構造(117,118)を設ける段階と、基板(200)を覆い基板(200)および固定櫛型構造(117,118)に対して移動可能な可動振動質量(101)を設ける段階と、固定櫛型構造(117,118)と可動振動質量(101)との間に誘電体層(500,800)を設ける段階とを含む。誘電体層(500)は、センサ(100)の感度を高め、可動振動質量(101)が固定櫛型構造(117,118)と短絡するのを防止する。
請求項（抜粋）：
センサの製造方法であって:基板(200)を用意する段階;前記基板(200)を覆う第1構造(115)を設ける段階;前記基板(200)を覆い、前記第1構造(115)に対して移動可能な第2構造(101)を設け、前記第1および第2構造(115,101)間に容量を形成する段階;および前記第1構造(115)および前記第2構造(101)間に層を設けることによって、前記容量を増大し、前記センサの感度を高める段階;から成ることを特徴とする方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 29/84 Z
, G01P 15/125
