特許
J-GLOBAL ID:200903032051846057

放射線検出器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 杉谷 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-317965
公開番号(公開出願番号):特開2005-086059
出願日: 2003年09月10日
公開日(公表日): 2005年03月31日
要約:
【課題】 放射線感応型の半導体へバイアス電圧を印加するための共通電極にバイアス電圧給電用のリード線を接続することに起因する性能低下を回避する。【解決手段】 この発明の放射線検出器は、放射線感応型の半導体1の表側における放射線検出有効エリアSA外に電気絶縁性の緩衝用台座13が設けられている。この緩衝用台座13の上を覆うかたちで形成されているバイアス電圧印加用の共通電極2の表面のうちの緩衝用台座13の上に位置する部分であるリード線接続領域2Aに、バイアス電圧給電用のリード線3が接続されているので、リード線3が共通電極2に接続される際に加わる衝撃が緩衝用台座13で和らげられる結果、性能低下の原因となる半導体1や中間層7の損傷が防止できる。又、緩衝用台座13は放射線検出有効エリアSA外にあるので、緩衝用台座13を設けることで放射線検出機能が損なわれることも防止できる。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
放射線の入射により電荷を生成する放射線感応型の半導体と、前記放射線感応型の半導体の表側へ面状に形成されているバイアス電圧印加用の共通電極を備え、共通電極の表面にバイアス電圧給電用のリード線が接続されている放射線検出器において、放射線感応型の半導体の表側には放射線検出有効エリアから外れた位置に電気絶縁性の緩衝用台座が設けられており、バイアス電圧印加用の共通電極が緩衝用台座の上の少なくとも一部を覆うかたちで形成されていて、バイアス電圧給電用のリード線が共通電極の表面のうちの緩衝用台座の上に位置する部分に接続されていることを特徴とする放射線検出器。
IPC (6件):
H01L27/14 ,  G01T1/24 ,  H01L27/146 ,  H01L31/09 ,  H04N5/32 ,  H04N5/335
FI (6件):
H01L27/14 K ,  G01T1/24 ,  H04N5/32 ,  H04N5/335 U ,  H01L27/14 C ,  H01L31/00 A
Fターム (29件):
2G088EE01 ,  2G088EE29 ,  2G088FF02 ,  2G088GG21 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ33 ,  4M118AA08 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118CA14 ,  4M118CB05 ,  4M118FB08 ,  4M118FB09 ,  4M118FB13 ,  4M118FB16 ,  4M118GA10 ,  5C024AX11 ,  5C024CY47 ,  5C024GY31 ,  5F088AA11 ,  5F088AB05 ,  5F088BB03 ,  5F088BB07 ,  5F088EA04 ,  5F088EA08 ,  5F088FA20 ,  5F088JA18 ,  5F088LA08
引用特許:
審査官引用 (7件)
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