特許
J-GLOBAL ID：200903086222896530
摺動部材及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
平木 祐輔
, 早川 康
, 渡辺 敏章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-162782
公開番号（公開出願番号）：特開2004-010923
出願日： 2002年06月04日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】耐摩耗性及び密着性に優れた保護膜を有する摺動部材を提供する。【解決手段】基材30の上に、Cr層31、Cr-カーボン組成傾斜層32、DLC硬度傾斜層33、硬質DLC層34を順に積層した構造の保護膜を設ける。各層はスパッタリングで成膜し、DLC硬度傾斜層33は、放電ガスへのアセチレンガス導入量を変化させることによって硬度を増大させながら成膜する。【選択図】 図10
請求項（抜粋）：
基材と、該基材の表面に形成した保護膜とを含む摺動部材において、前記保護膜は、金属層と、前記金属層の上に形成された金属-カーボン組成傾斜層と、前記金属-カーボン組成傾斜層の上に形成され該金属-カーボン組成傾斜層から離れるに従って硬度が増加する硬度変化領域を有するダイヤモンドライクカーボン層とを備えることを特徴とする摺動部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (17件)：
3J044AA02
, 3J044AA14
, 3J044BA01
, 3J044BB20
, 3J044BC06
, 4K029BA02
, 4K029BA07
, 4K029BA11
, 4K029BA16
, 4K029BA17
, 4K029BA34
, 4K029BA64
, 4K029BB02
, 4K029BD04
, 4K029CA05
, 4K029CA06
, 4K029EA05
