複合硬質皮膜、その製造方法及び成膜装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：柳瀬睦肇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-071792
公開番号（公開出願番号）：特開2003-268571
出願日： 2002年03月15日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】摩擦係数が小さく且つ密着強度が大きい複合硬質皮膜及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明に係る複合硬質皮膜の製造方法は、高潤滑性と高密着強度を有する複合硬質皮膜の製造方法であって、基材2上に密着強度の高い窒化クロム層21をPVD法により形成する工程と、この窒化クロム層21上にSi化合物層22を、Si化合物ガスを用いたプラズマCVD法により形成する工程と、このSi化合物層22上に潤滑性の高いSi含有DLC層23をプラズマCVD法により形成する工程と、を具備するものである。上記窒化クロム層に代えて他の化合物層を用いても良く、例えばAl、Cr、Si、Ta、Ti、Mo、Nd、Zr及びWの群から選ばれた1又は2以上の窒化物層、酸化物層又は炭化物層を用いても良い。

請求項（抜粋）：

基材上に密着強度の高い化合物層をPVD法により形成する工程と、この化合物層上に潤滑性の高いSi含有炭素層をプラズマCVD法により形成する工程と、を具備することを特徴とする複合硬質皮膜の製造方法。

IPC (4件)：

C23C 28/04 , C23C 8/36 , C23C 14/06 , C23C 16/27

FI (4件)：

C23C 28/04 , C23C 8/36 , C23C 14/06 P , C23C 16/27

Fターム (38件)：

4K028BA02 , 4K028BA15 , 4K029BA41 , 4K029BA43 , 4K029BA44 , 4K029BA46 , 4K029BA48 , 4K029BA55 , 4K029BA56 , 4K029BA57 , 4K029BA58 , 4K029BA60 , 4K029BB02 , 4K029BC00 , 4K029BC02 , 4K029BD05 , 4K029CA04 , 4K029CA06 , 4K030AA06 , 4K030AA09 , 4K030BA28 , 4K030FA01 , 4K030HA04 , 4K030LA01 , 4K030LA21 , 4K044BA02 , 4K044BA10 , 4K044BA12 , 4K044BA15 , 4K044BA18 , 4K044BA19 , 4K044BA21 , 4K044BB03 , 4K044BC01 , 4K044BC06 , 4K044CA07 , 4K044CA13 , 4K044CA14

引用特許：

審査官引用 (11件)

硬質カーボン膜の構造
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-141931 出願人：シチズン時計株式会社
特開平1-132779
化学気相堆積およびスパッタリング装置と方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-133742 出願人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド

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